瑞士Idonus MEMS制造设备 芯片对芯片键合机 应用于对准 2020年4月23日 联系人:唐心雨 15821984229 在MEMS制造中建立三维结构或封装时,经常需要两个芯片的精确对准和键合。 使用芯片到芯片键合机,可以手动对齐两个芯片。然后可以使芯片接触,以进行阳极键合或各种粘合过程。单芯片对准台包括三个线性轴和三个旋转轴,它们为大多数对准应用提供了足够的自由度。 下部芯片被夹紧在基板上,上部芯片被针保持。两个真空吸盘均可单独调节和切换。为了进行阳极键合工艺,提供了加热板以及高压源。在控制器上调节键合电压,该控制器监视电压和键合电流。加热板的温度也可以在控制器上进行调节。 MEMS制造设备 瑞士IDONUS 芯片对芯片键合机