使用idonus UV-EXP150R自动进行UV-LED光刻

客户需要在宽面板上执行UV光刻（365 nm波长）。 我们为他提供了将IDONUS UV-LED曝光系统UV-EXP150R与电动XY平台相结合的方法。

首先，我们需要调整XY工作台，以使电动机能够移动超过50千克的有效负载。

曝光周期通过专用的图形用户界面（GUI）启动。 可编程逻辑控制器（PLC）驱动电动平台和UV-EXP150R。 客户只需要将其参数保存在CSV文件中，该文件包含：X和Y坐标，曝光设置。