瑞士Idonus,带双重图像显微镜的掩膜校准系统（MAS + DIM） ),双成像显微镜掩膜对准系统,DIM 双影像显微镜掩膜校准台,MAS+DIM 模块化掩膜对中系统,双显微镜荫罩掩膜对准器,双光路同步观测两组对准标记,±5μm 高精度掩膜‑晶圆平面对准,DIM 双相机屏幕可视化对位,无需反复切换视场,DIM 显微镜可独立单机使用,MEMS 微纳对准,荫罩掩膜 PVD 蒸镀,MEMS 器件,光电子样品精密对位,集成 DIM 双重图像显微镜
瑞士Idonus,用于光刻的UV-LED曝光系统,UV-EXP系列,紫外 LED 光刻曝光系统,UV‑LED 曝光机,Idonus 晶圆 UV‑LED 曝光设备,无汞 UV‑LED 光刻光源系统,掩模对准器 UV‑LED 改造光源,MEMS 光刻胶 UV 曝光设备,全远心光学 UV‑LED 曝光,曝光均匀性 ±3%,掩模对准器汞灯改造替换,闭环能量控制 UV 曝光系统,MEMS 微加工 UV 曝光,大尺寸晶圆 UV‑LED 曝光设备
