瑞士Idonus MEMS制造设备 静电吸盘 用于研发机构MEMS研发

静电卡盘能够通过静电力将多个芯片以及晶片的一部分夹紧到晶片支架上。

这种装置对R&D的研究机构非常有用，因为在这些机构中，对完整的晶片进行研究并不总是可能的。芯片的静电夹持允许在氟化氢蒸汽释放之前对微机电系统晶片进行苛刻的切割工艺。通过修改传统的制造顺序，就有可能生产出具有非常软的悬架的微机电系统器件。

静电吸盘的使用非常简单。芯片被放置在晶片支架上，电力由控制器盒上的开关接通。静电力可以调节。