光刻曝光 – Idonus相蚀刻系统红外显微镜

瑞士Idonus MEMS制造设备用于光刻的idonus UV-LED曝光系统用于光致抗蚀剂曝光适用于MEMS 微流体光子学半导体和光伏应用中的各种基材和光致抗蚀剂