瑞士Idonus MEMS制造设备 静电吸盘 用于研发机构

静电卡盘能够通过静电力将多个芯片以及晶片的一部分夹在晶片保持器上。

该设备对于研发机构非常有用，因为在研发机构中，并非总是可以加工完整的晶圆。芯片的静电夹持允许在释放HF蒸气之前执行MEMS晶圆的严格切割工艺。通过修改经典的制造顺序，可以生产具有极软悬架的MEMS器件。

静电吸盘的使用非常简单。将芯片放在晶片支架上，并通过控制盒上的开关打开电源。静电力可以调节。