显微镜配有长工作距离物镜。三步缩放允许用户选择合适的视野和放大倍率。红外敏感相机通过计算机上的USB显示被检查设备的图像。物镜分辨率为5倍时，分辨率优于3 µm。
另外，顶部照明可用。这允许以常规模式使用显微镜并检查晶片的顶侧。红外显微镜配有xy工作台，可容纳8英寸或更小的晶片。桌子是电动的，可以用操纵杆控制。