瑞士IDONUS红外晶圆检查显微镜

瑞士IDONUS红外晶圆检查显微镜

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由于硅在红外（IR）光中具有透明性，我们的红外检测显微镜带有附加的背光，可以检查晶圆内部的隐藏特征。

应用：

• MEMS和键合晶圆的检查
• 掩膜材料的蚀刻速率测量

优点：

• 可查看MEMS内部结构
• 结构简单，操作简单