瑞士IDONUS湿法刻蚀晶圆夹具
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蚀刻晶圆整个浸入到液体蚀刻剂中，我们的湿处理晶圆夹头保护晶圆的背面不被蚀刻，这样，深部结构就可以被蚀刻，而无需遮盖晶圆背面。
可以定制任何尺寸的晶圆夹头，以及单个芯片夹头。
夹头由晶圆支架和加紧环组成，晶圆被放置在支架上，由加紧环固定，加紧环拧到夹头上，三个精密密封环可确保晶圆的防漏加紧。支架中用户自定义的凹槽可以最大程度地降低加紧晶圆上的力。
夹头由PEEK制造，它可以耐受大多数蚀刻微加工中使用的解决方案（HF、KOH、TMAH）。
如果蚀刻溶液会被加热，强烈建议使用薄膜通风管，连接大气和夹套中封闭的空气。
每个应用程序的需求都不一样，我们很高兴帮您设计您的定制夹头，帮您达到理想的实验效果。
