瑞士IDONUS光刻紫外LED曝光系统

瑞士IDONUS光刻紫外LED曝光系统

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采用大功率LED技术的高性能光刻曝光系统

应用:

  • 光刻曝光
  • 纳米压印
  • 紫外固化

优点:

工艺稳定

  • 免校准,免维护
  • 即时开/关
  • 无有害物质,无特殊安全规定


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