低成本电子驱源,用于XPS/AES和SIMS应用中绝缘体或半导体的电荷中和。洪水源在两个能量范围内运行,完全由软件控制,还可以提供定制的插入长度(145 – 421 mm,其他根据要求)和屏蔽材料,例如 mu-金属、铜。
数据规格:
安装法兰 | DN 40CF(不可旋转) |
能量范围 | 0.01 – 1000 eV |
采样电流 | 高达 100 μA |
阴极类型 | 钍钨 |
屏蔽 | 铜(用于μ金属腔室)或μ金属(用于不锈钢腔室) |
插入长度 | 最小 145 毫米(可根据要求提供其他),外径:33.6 毫米(μ金属),35 毫米(铜) |
FWHM | 取决于工作距离(例如 10 mm 对距离 30 mm) |
典型工作距离 | 20-100 毫米 |
烘烤温度 | 最高 250°C |
工作压力 | < 5 × 10-6毫巴 |
特征:
- 高电子束电流
- 可选能量范围
- 稳定排放
- 光束轮廓控制
选项:
- 线性移位
- 定制插入长度
- 源屏蔽材料(μ金属或铜)
洪水源电源 FS40-PS
带触摸屏的新电源专用于洪水源 FS40A1。所有可调参数都显示在带触摸屏的大型TFT显示屏上。所有设置都可以手动调整,也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。FS40-PS 可作为全宽 19“ 机架安装单元(3U 高)或独立式提供。设备可以通过其中一个可用接口进行远程控制。该装置还可以使用模拟接口远程控制光束能量、发射电流、聚焦和提取器电压。自动保存功能,用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。
技术规格:
电源电压 | 100 V – 240 V,50/60 Hz (最大功耗 75 W) |
光束能量(低能量 范围) | 0.01 – 50 eV,分辨率 0.01 eV |
光束能量(高能量 范围) | 50 – 1000 eV,分辨率 0.1 eV |
发射电流 | 1 – 1000 μA,分辨率 0.1 μA |
聚焦电压 | 300 – 1000 V,分辨率 0.1 V |
提取器电压 | 0 – 150 V,分辨率 0.1 V |
模拟输入 | 4 (0-10V) |
定时器 | 双模定时器 0s – 99h 59m |
通信接口 | RS232/485,以太网 |
通信协议 | MODBUS-TCP |
用户界面 | 7“ TFT 显示屏,带触摸屏,数字编码器 |
界面语言 | 英语, 德语, 波兰语 |
尺寸 | 483 x 133 x 435 mm(宽 x 高 x 深),19“ 机架安装或单独安装 |
重量(大约) | 5.2 千克 |
应用:
FS40-PS 电源设计用于 FS40A1 电子泛洪源,后者用于 XPS/AES 和 SIMS 应用中绝缘体和半导体样品的电荷中和。
选项:
– 软件控制(版本专业版、扩展版或库模块)。