洪水源 FS 40A1 电子枪 电子驱动源 半导体电荷中和 XPS AES SIMS

低成本电子驱源,用于XPS/AESSIMS应用中绝缘体或半导体的电荷中和。洪水源在两个能量范围内运行,完全由软件控制,还可以提供定制的插入长度(145 – 421 mm,其他根据要求)和屏蔽材料,例如 mu-金属、铜。

数据规格:

安装法兰DN 40CF(不可旋转)
能量范围0.01 – 1000 eV
采样电流高达 100 μA
阴极类型钍钨
屏蔽铜(用于μ金属腔室)或μ金属(用于不锈钢腔室)
插入长度最小 145 毫米(可根据要求提供其他),外径:33.6 毫米(μ金属),35 毫米(铜)
FWHM取决于工作距离(例如 10 mm 对距离 30 mm)
典型工作距离20-100 毫米
烘烤温度最高 250°C
工作压力< 5 × 10-6毫巴

特征:

  • 高电子束电流
  • 可选能量范围
  • 稳定排放
  • 光束轮廓控制

选项:

  • 线性移位
  • 定制插入长度
  • 源屏蔽材料(μ金属或铜)

洪水源电源 FS40-PS

带触摸屏的新电源专用于洪水源 FS40A1。所有可调参数都显示在带触摸屏的大型TFT显示屏上。所有设置都可以手动调整,也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。FS40-PS 可作为全宽 19“ 机架安装单元(3U 高)或独立式提供。设备可以通过其中一个可用接口进行远程控制。该装置还可以使用模拟接口远程控制光束能量、发射电流、聚焦和提取器电压。自动保存功能,用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。

技术规格:

电源电压100 V – 240 V,50/60 Hz
(最大功耗 75 W)
光束能量(低能量
范围)
0.01 – 50 eV,分辨率 0.01 eV
光束能量(高能量
范围)
50 – 1000 eV,分辨率 0.1 eV
发射电流1 – 1000 μA,分辨率 0.1 μA
聚焦电压300 – 1000 V,分辨率 0.1 V
提取器电压0 – 150 V,分辨率 0.1 V
模拟输入4 (0-10V)
定时器双模定时器 0s – 99h 59m
通信接口RS232/485,以太网
通信协议MODBUS-TCP
用户界面7“ TFT 显示屏,带触摸屏,数字编码器
界面语言英语, 德语, 波兰语
尺寸483 x 133 x 435 mm(宽 x 高 x 深),19“ 机架安装或单独安装
重量(大约)5.2 千克

应用:

FS40-PS 电源设计用于 FS40A1 电子泛洪源,后者用于 XPS/AES 和 SIMS 应用中绝缘体和半导体样品的电荷中和。

选项:

– 软件控制(版本专业版、扩展版或库模块)。


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