紧凑、易于使用的提取器类型，用于样品表面清洁。源产生 >70 μA/cm 的离子电流2（氩气）具有高斯光束轮廓。源插入长度可根据个性化要求进行调整（在 62.5 mm – 384.5 mm 之间，其他可根据要求提供）。
技术规格：
| 安装法兰 | DN 40CF（不可旋转） |
| 能量范围 | 0.12 keV – 5 keV |
| 电流密度 | > 120 μA/cm2（距离 30 mm 时） |
| 阴极类型 | 氧化钇涂层铱丝 |
| 插入长度 | 最小 62.5 mm，其他根据要求 外径：最大 37 mm |
| FWHM | 取决于离子能量和工作距离 （例如，3 mm 对距离 30 mm） |
| 典型工作距离 | 30 – 250 毫米 |
| 烘烤温度 | 最高 250°C |
| 工作压力 | 10-5– 10-6毫巴 |
特征：
- 使用惰性（Ar）和反应气体（O2， H2，寿命缩短的碳氢化合物）
- 高离子束电流
- 使用寿命长
- 高稳定性
选项：
- 气体计量系统
- 定制插入长度
- 线性移位
离子源电源IS40-PS
高稳定性和低噪音电源，可配置为与IS40C1或IS40E1离子源配合使用。
离子源 IS 40E1 模式
IS40-PS 电源驱动 IS40E1 扫描离子源。它允许微调主光束能量、离子密度和光束轮廓（通过调整提取器、聚焦透镜、偏转和定位元件）。通过数字编码器最多可改变 4 个参数。每个参数的当前状态显示在大型前面板LCD显示屏上。所有设置都可以手动调整，也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。通过 USB 端口轻松更新固件。设备可通过RS232/485或以太网接口进行远程控制。自动保存功能，用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。
提供维恩过滤器选项。
离子源 IS 40C1 模式
IS40-PS 电源驱动 IS40C1 离子源，用于大面积 UHV 样品清洁和制备。IS40-PS 电源允许通过数字编码器微调光束能量和离子密度。所有设置都可以手动调整，也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。通过 USB 端口轻松更新固件。设备可通过RS232/485或以太网接口进行远程控制。自动保存功能，用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。
技术规格：
| 电源电压 | 100V – 240V，50-60Hz （最大功耗250W） |
| 定时器 | 双模式定时器，0 秒 – 99 小时 59 分钟 |
| 真空测量（可选） | CTR90， TTR91， TTR211， PTR225， PTR90， ITR90， ITR100， Baratron， 模拟输入， MKS937A， PG105， MG13/14， PKR251/360/361， PCR280， ATMION |
| 用户界面 | 7“ TFT 显示屏，带触摸屏，数字编码器 |
| 通信接口 | RS232/485，以太网 |
| 通信协议 | MODBUS-TCP |
| 界面语言 | 英语， 德语， 波兰语 |
| 尺寸 [毫米] | 483 x 133 x 437 mm（宽 x 高 x 深），19“ 机架安装 |
规格（IS40E1 模式）
| 光束能量 （E） | 0 – 5 keV，分辨率 0.01 keV，纹波 < 0.2 VPP |
| 发射电流（Ie) | 0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA |
| 焦点 （1，2） 电压 | 0 – 5000 V，分辨率 1 V，纹波 < 0.2 VPP |
| 提取器电压（Ex） | 60 – 100% 能量，分辨率 0.1%，纹波< 0.2 VPP |
| 光束位置（像素、像素） | -5 毫米至 5 毫米，分辨率 0.01 毫米 |
| 扫描区域（Δx、Δy） | 10 毫米 x 10 毫米，分辨率 0.01 毫米 |
| 扫描速度（时间/点） | 20 μs – 30 ms |
| 重量（大约） | 12 公斤 |
规格（IS40C1 模式）
| 光束能量（U英) | 0.00 keV – 5.00 keV，分辨率 0.01 keV，纹波< 200 mV |
| 发射电流（Ie) | 0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA |
| 重量（大约） | 9.2 千克 |
选项：
– 软件控制（专业版、扩展版或库模块）
– 用于真空测量的模拟量 I/O 卡（1 个仪表）
