具有小光斑轮廓的可扫描电子源。由于其Einzel透镜的高透射率，ES 40C在很宽的能量范围内提供高电子束电流。ES 40C1 专为在 AES、扫描应用、成像、EELS 和电子脉冲或解吸实验 （ESD） 等应用中稳定可靠地运行而设计。
技术规格：
| 安装法兰 | DN 40CF（可旋转） |
| 能量范围 | 0 – 5 keV |
| 采样电流 | 高达 100 μA |
| 扫描区域 | 10 毫米 x 10 毫米 |
| 屏蔽 | 铜或μ金属 |
| 阴极类型 | 钍钨 |
| 插入长度 | 最小 155.7 毫米，（其他应要求提供）外径：33.5 毫米（μ金属），35 毫米（铜） |
| FWHM | 取决于工作距离，最小 120 μm（距离 56 mm） |
| 工作距离 | 23 毫米 – 150 毫米（典型值为 75 毫米） |
| 烘烤温度 | 最高 250 °C |
| 工作压力 | < 5×10-6毫巴 |
特征：
- 细聚焦微成型尖端阴极
- 具有小光斑轮廓的可扫描电子源
- 入射电子束角校正（由ES40-PS电源提供）
- 集成扫描和偏转单元
选项：
- 线性移位
- 定制插入长度
- 源屏蔽材料（μ金属或铜）
电子源电源 ES40-PS
允许微调电子束能量、密度、样品上的位置以及电子束轮廓。扫描功能允许独立控制扫描速度和范围。所有设置都可以手动调整，也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。ES40-PS可以作为全宽19“机架安装单元（3U高）或独立式提供。通过 USB 端口轻松更新固件。设备可通过RS232/485或以太网接口进行远程控制。自动保存功能，用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。
技术规格：
| 电源电压 | 100 – 120 伏交流电/200 – 240 伏交流电，50-60 赫兹（最大功耗 250 W） |
| 光束能量 | 0 – 5000 eV，分辨率 0.1 eV，纹波 < 200 mV |
| 发射电流 | 0.1 – 300 μA，分辨率 0.01 μA [ES 模式] 1 – 3000 nA，分辨率 1 nA [CMA 模式] |
| 聚焦电压 | 60 – 100 % 与能量电压相关，分辨率 0.1 % |
| 韦内尔特电压 | 0 – 150 V，分辨率 0.1 V [ES 模式] -12 – 12 V，分辨率 0.1 V [CMA 模式] |
| 光束位置（像素，像素） | 分辨率 0.01 毫米，中间位置 ±5 毫米 |
| 扫描区域（Δx、Δy） | 10 毫米× 10 毫米，分辨率 0.01 毫米 |
| 扫描速度（时间/点） | 20 μs – 30 ms |
| 定时器 | 双模定时器 0s – 99h 59m |
| 真空测量（可选） | CTR90， TTR91， TTR211， PTR225， PTR90， ITR90， ITR100， Baratron， 模拟输入， MKS937A， PG105， MG13/14， PKR251/360/361， PCR280， ATMION |
| 通信接口 | RS232/485，以太网 |
| 通信协议 | MODBUS-TCP |
| 用户界面 | 7“ TFT 显示屏，带触摸屏，数字编码器 |
| 界面语言 | 英语， 德语， 波兰语 |
| 尺寸 | 483 x 133 x 435 mm（宽 x 高 x 深），19“ 机架安装式 |
| 重量（大约） | 9.2 千克 |
应用：
ES40-PS电源旨在与ES40C1低能电子源或双通迷你圆柱镜分析仪CMA 40CF配合使用。电源允许微调电子束轮廓，以在高能量和发射电流下实现小光斑。
选项：
– 软件控制（专业版、扩展版或库模块），
– 用于真空测量的模拟 I/O 卡（1 个仪表）。
