离子源IS 40E1–两个透镜，提取器类型，聚焦。适用于深度剖面（Ar），能够使用O2、H2、碳氢化合物和所有惰性气体等反应性气体进行操作。该源能够以建议的工作距离栅格化 10 mm x 10 mm 的表面区域。它特别适用于XPS，ISS和SIMS中的深度剖析。该源也可用于样品表面清洁。
技术规格：
| 安装法兰 | DN 40CF（可旋转） |
| 气体 | 氩气和反应气体（O2， H2寿命缩短的碳氢化合物） |
| 能量范围 | 0.15 keV – 5 keV |
| 扫描区域 | 10 毫米 x 10 毫米（工作距离为 23 毫米） |
| 电流密度 | 高达 4 mA/cm2（距离 23 毫米） |
| 光束电流 | > 1 μA（距离 23 mm 时） |
| 阴极类型 | 氧化钇涂层铱丝 |
| 锥角小 | 50 |
| 插入长度 | 163 毫米（标准） |
| FWHM | 取决于工作距离（例如，距离 150 mm 时为 < 23 μm） |
| 典型工作距离 | 23 – 120 毫米 |
| 烘烤温度 | 250 °C |
| 工作压力 | 10-8毫巴（最大光束电流） |
特征：
- 特殊配置的鼻锥
- 使用惰性（Ar）和反应气体（O2， H2，寿命缩短的碳氢化合物）
- 连续可变光斑尺寸
- 极其均匀的火山口/光束轮廓
- 侧面可更换灯丝
- 特高压气体入口
- 室内保持特高压条件
- 集成扫描和偏转单元
- 入射电子束角度校正（由IS40-PS电源提供）
选项：
- 维恩质量过滤器
- 气体计量系统
- 直线移位： 25， 50， 75， 100 mm
- 泵组（2级）
- 真空计套件
离子源电源 IS40-PS
高稳定性和低噪音电源，可配置为与IS40C1或IS40E1离子源配合使用。
离子源 IS 40E1 模式
IS40-PS 电源驱动 IS40E1 扫描离子源。它允许微调主光束能量、离子密度和光束轮廓（通过调整提取器、聚焦透镜、偏转和定位元件）。通过数字编码器最多可改变 4 个参数。每个参数的当前状态显示在大型前面板LCD显示屏上。所有设置都可以手动调整，也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。通过 USB 端口轻松更新固件。设备可通过RS232/485或以太网接口进行远程控制。自动保存功能，用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。
提供维恩过滤器选项。
离子源 IS 40C1 模式
IS40-PS 电源驱动 IS40C1 离子源，用于大面积 UHV 样品清洁和制备。IS40-PS 电源允许通过数字编码器微调光束能量和离子密度。所有设置都可以手动调整，也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。通过 USB 端口轻松更新固件。设备可通过RS232/485或以太网接口进行远程控制。自动保存功能，用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。
技术规格：
| 电源电压 | 100V – 240V，50-60Hz （最大功耗250W） |
| 定时器 | 双模式定时器，0 秒 – 99 小时 59 分钟 |
| 真空测量（可选） | CTR90， TTR91， TTR211， PTR225， PTR90， ITR90， ITR100， Baratron， 模拟输入， MKS937A， PG105， MG13/14， PKR251/360/361， PCR280， ATMION |
| 用户界面 | 7“ TFT 显示屏，带触摸屏，数字编码器 |
| 通信接口 | RS232/485，以太网 |
| 通信协议 | MODBUS-TCP |
| 界面语言 | 英语， 德语， 波兰语 |
| 尺寸 [毫米] | 483 x 133 x 437 mm（宽 x 高 x 深），19“ 机架安装 |
规格（IS40E1 模式）
| 光束能量 （E） | 0 – 5 keV，分辨率 0.01 keV，纹波 < 0.2 VPP |
| 发射电流（Ie) | 0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA |
| 焦点 （1，2） 电压 | 0 – 5000 V，分辨率 1 V，纹波 < 0.2 VPP |
| 提取器电压（Ex） | 60 – 100% 能量，分辨率 0.1%，纹波< 0.2 VPP |
| 光束位置（像素、像素） | -5 毫米至 5 毫米，分辨率 0.01 毫米 |
| 扫描区域（Δx、Δy） | 10 毫米 x 10 毫米，分辨率 0.01 毫米 |
| 扫描速度（时间/点） | 20 μs – 30 ms |
| 重量（大约） | 12 公斤 |
规格（IS40C1 模式）
| 光束能量（U英) | 0.00 keV – 5.00 keV，分辨率 0.01 keV，纹波< 200 mV |
| 发射电流（Ie) | 0.01 mA – 10 mA，分辨率 0.01 mA |
| 重量（大约） | 9.2 千克 |
选项：
– 软件控制（专业版、扩展版或库模块）
– 用于真空测量的模拟量 I/O 卡（1 个仪表）
