idonus提出了一种创新的紫外线照明系统，该系统基于大功率LED和高级微透镜阵列的使用。该产品可用于光致抗蚀剂曝光，适用于多种基材。我们完整的UV照明产品线可满足300 mm宽的掩模和晶圆的光刻需求。可以设计定制的解决方案来满足您的特定要求（例如，对掩模对准器进行改造，为将来的产品提供OEM）。
LED的好处
直到最近，水银弧光灯还是唯一能够提供适合UV光刻曝光的高强度光的光源。由于LED技术的进步，UV-LED已成为耗能汞灯的极具吸引力的替代品。
除了生态和安全方面，与传统的汞灯相比，UV-LED的技术优势众多，并且对光刻具有重要意义。UV-LED的最重要的优点是，它们具有稳定的发射性，使用寿命长。结果，不需要日常校准和维护。此外，通过提高能源效率，LED减少了发热量，从而大大简化了系统冷却。
UV-LED技术的好处
- LED使用寿命长，这意味着不再需要消耗品
- 无需每日校准，即时稳定的照明
- 即时开启，光线仅在曝光期间开启，无需机械快门
- 低功耗
- 有限的加热，这意味着非常低的空气冷却成本
- 没有维护费用
紫外线LED曝光系统
idonus已经推出了完整的UV-LED曝光产品线。我们的系统将市场上最有效的UV-LED与高级微透镜阵列集成在一起。它们完全组装并在内部进行控制。我们的设计采用全远心光学元件，可在整个曝光区域提供可重复且均匀的照明条件-即高度均匀且稳定的强度，并且发散角很小。这种尖端的光学器件可确保整个基板完全均匀地曝光，从而生产出具有笔直侧壁的固化光致抗蚀剂，并具有微米级。
应用：
- 光刻曝光
- 纳米压印
- 紫外固化
优点：
工艺稳定
- 免校准，免维护
- 即时开/关
- 无有害物质，无特殊安全规定
