THERMO ELECTRIC TC-1200测温晶圆-50°C 至 1,200°C

THERMO ELECTRIC TC-1200测温晶圆-50°C 至 1,200°C
TC-1200 —— 高温 / 高纯度型 —— 温度范围(-50°C 至 1,200°C)
TC-1200 采用一种非常独特的固定方式,使其能够在极高温环境下稳定工作。该方式不使用任何粘接剂,而是通过激光焊接将硅材料固定,以保持传感器的位置稳定。
这种结构不仅支持高温运行,同时也是目前较为洁净的设计之一。由于完全消除了粘接材料,因此不存在挥发性气体析出(outgassing)或其他不良污染风险。
该设计适用于需要精确监测和控制硅晶圆表面温度的应用场景。多数制造商将传感器嵌入晶圆内部,而该产品则将测量重点放在晶圆表面——也就是最关键工艺发生的位置。由于传感元件布置在更接近实际工艺的位置,因此可实现更快且更准确的响应性能。
虽然该产品广泛应用于半导体行业,但同样也可用于测量任何二维表面的温度均匀性。
TC-1200 晶圆产品采用热电偶技术,以提供最高精度与最可靠的测量读数。