THERMO ELECTRIC RTD集成晶圆低温测温晶圆

RTD —— 低温 / 高精度型 —— 最高温度 240°C
RTD晶圆

集成测温晶圆 RTD 基于某些金属材料的电阻随温度变化而呈现可重复且可预测变化的原理工作。

相比热电偶晶圆，RTD 型集成晶圆具备更高的测量精度与更优的长期稳定性，可为半导体制造设备的温度监测提供更多选择。

由于 RTD 传感器能够在较长时间内保持初始精度，因此在温度测量中具有良好的重复性与可靠性。