PREVAC 与 MBE 室集成的分析特高压系统 Analytical UHV system integrated with MBE chamber [project 473]
一种分析 UHV 系统，专用于研究 UHV 条件下固态表面的化学和物理特性，并与 MBE 室集成。
规格
– 基础压力范围为 5*10 -11 mbar 的分析室，由 mu-metal 制成，保证剩余磁场低于 0.5 微特斯拉。
– 装载锁定室允许装载多达三个 2” PTS 样品架
– 特殊设计的 MBE 室配备：
- 高精度 2 轴机械手，带有用于 2” 支架的载物台，带有用于 3” 加热器的加热模块和周围的水罩（加热至 1000°C – 与氧气兼容）
- 10 个源的端口
- 10 个专用于信号源的电动气动快门
- 沉积速率测量系统：石英平衡和厚度监视器
- 光束通量监视器
- 未来其他组件的额外自由端口
- 沉积过程可通过专用 PC 软件和 PLC 控制器完全编程。
– 用于转移样品的径向分布室 (UFO) 在 UHV 压力下在室之间转移
– 附件：
- 一组专用样品架
- 所有电子单元的特殊机架
- 特殊设计的烘烤系统
用于 2” PTS 样品架的传输系统。
