VDM-3 陶瓷隔膜真空变送器
VDM-3 陶瓷隔膜 ATM 真空变送器采用耐腐蚀的氧化铝陶瓷隔膜，隔膜会随施加的压力产生形变。核心压力传感元件采用压阻式测量技术，该隔膜传感器对真空气体压力的测量结果不受气体种类或成分影响。
除绝压传感器外，设备还集成了气压传感器，可测量环境大气压，并生成相对于环境压力的真空测量信号。这种相对大气压的测量方式，可在真空系统向大气泄压过程中实现精准的压力控制。
与通常采用充油式传感元件的不锈钢压电真空变送器不同，VDM-3 的陶瓷压电传感元件为洁净干式设计，彻底消除了污染真空系统的风险。
替代电容薄膜真空计
电容薄膜真空计常用于多种真空应用中，用于先进工艺的测量与控制。VDM-3 变送器是传统 1000 托 / 毫巴满量程电容薄膜真空计（CDG）的高性价比紧凑型替代方案。
对于需要独立大气切换功能的应用场景，VDM-3 可将真空测量与大气切换功能集成在单台设备中。
专为恶劣环境设计
VDM-3 适用于存在腐蚀性气体和化学物质的高要求真空应用场景，其氧化铝陶瓷隔膜对多种溶剂和酸类具备优异的耐腐蚀性。
- 可选派瑞林（Parylene）防护层：可保护传感器材料免受腐蚀或氧化。派瑞林是一种具有高耐腐蚀性和疏水性的特殊聚合物，专为医疗应用（如冻干工艺、医疗器械过氧化氢等离子灭菌）设计。
- 可选防护挡板：在含有可见颗粒物的真空系统和工艺中，可有效阻挡污染物沉积在传感器隔膜上。
- 耐用化设计：氧化铝传感元件结构坚固，可承受瞬间通风及最高 2 巴绝压（29 psi）的过压工况。
