VPM-7 SmartPirani™ ATM 真空变送器
- 超宽测量范围
覆盖 9 个数量级，测量范围 1×10⁻⁶ 至 1333 毫巴
- 大气切换功能
实现真空系统泄压过程的精准压力控制
- 与气体无关的测量
2 至 1333 毫巴范围内采用隔膜传感器，测量不受气体类型影响
- 装卸腔一体化设计
专为装卸腔压力控制打造的集成式一体化解决方案
VPM-7 SmartPirani™ ATM 真空变送器专为半导体装卸腔精密压力控制，以及其他需要精确测量相对环境大气压的真空应用场景设计。
相比传统装卸腔变送器和其他同类传感器方案，它具备行业领先的性能：更宽的测量范围、更高的精度、更快的测量周期。SmartPirani™ ATM 将热传导皮拉尼热损耗真空计的有效测量范围扩展了 1-3 个数量级，树立了新的行业标准。
| 型号 | 接口 | 传感器类型 | 数字接口 | 单位 | 模拟输出 | 设定点继电器 | 连接器 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| VPM-7-10101232 | DN16KF 法兰 | 标准传感器 | RS-232 | 毫巴 | 标准模拟输出 | 3 路设定点继电器 | 15 针 D-Sub |
| VPM-7-10201232 | DN16KF 法兰 | 标准传感器 | RS-485 | 毫巴 | 标准模拟输出 | 3 路设定点继电器 | 15 针 D-Sub |
| VPM-7-10102132 | DN16KF 法兰 | 标准传感器 | RS-232 | 托 | MKS 900 模拟输出 | 3 路设定点继电器 | 15 针 D-Sub |
| VPM-7-40102132 | VCR4F 法兰 | 标准传感器 | RS-232 | 托 | MKS 900 模拟输出 | 3 路设定点继电器 | 15 针 D-Sub |
一体化多传感器变送器方案
VPM-7 是一款真正的多传感器变送器，集成了四路压力输出：气压环境传感器、宽量程热损耗皮拉尼传感器、绝压隔膜传感器，以及相对大气压的测量信号，协同工作以优化现代装卸腔真空室的精确压力控制。隔膜传感器可提供 2 至 1333 毫巴（1.5 至 1000 托）的高精度与气体无关绝压读数。
RS-232 和 RS-485 数字接口可用于向外部设备传输数据，支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出标定，以及实时真空压力测量数据的采集与屏幕可视化。
耐腐蚀传感器
通常情况下，装卸腔设备洁净无腐蚀性气体。但在存在腐蚀性化学物质或残留刻蚀气体的应用中，可选配耐腐蚀传感器以拓展 VPM-7 的使用场景。
- 陶瓷：一种高耐腐蚀材料，广泛用于电容薄膜真空计的真空传感器隔膜。
- 派瑞林（Parylene）：一种特殊聚合物，以优异的耐腐蚀性和疏水性著称。
兼容其他厂商设备，支持即插即用替换
VPM-7 SmartPirani™ ATM 变送器可作为传统装卸腔真空变送器的即插即用替换件，引脚、模拟电压压力信号和数字协议均与其他厂商的真空变送器兼容。
可定制设置
VPM-7 SmartPirani™ ATM 变送器可根据特定应用需求定制，开箱即可在特定设备中直接投入使用。预配置选项包括测量范围、真空压力单位、设定点配置和输出信号标定。每台定制设备均分配唯一零件编号，方便后续采购。
应用与市场
VPM-7 SmartPirani™ ATM 专为先进真空工艺的可靠测量与控制设计，适用于装卸腔系统的压力控制场景，提供多种配置方案满足不同行业与应用需求。典型应用包括：
- 半导体：实现装卸腔系统压力的精准控制，可作为其他厂商传统装卸腔变送器的即插即用替换件。
- PVD 涂层：带可维护挡板防护的 VPM-7 可用于物理气相沉积（PVD）涂层应用，延长设备使用寿命，实现真空系统泄压的精准控制。
- 质谱仪：在质谱仪设备中发挥 VPM-7 的低压测量能力优势。
- 空间模拟：模拟太空恶劣环境时测量真空气体压力。
- 电子显微镜：结合真空测量与相对环境压力测量功能。
- 炉体设备：真空热处理过程中测量与控制真空度，工业应用可选配挡板与涂层防护。
