VPM-4 SmartPirani™ Lite 真空变送器
MEMS 皮拉尼传感器宽量程 MEMS 皮拉尼传感器，测量范围 1×10⁻⁶ 至 10 毫巴 耐腐蚀性可选陶瓷或派瑞林（Parylene）传感器防护层 数字接口配备 RS-232 和 RS-485 数字接口，支持系统集成 过程控制可编程设定点继电器，实现真空开关功能
VPM-4 SmartPirani™ Lite 真空变送器采用前沿技术打造，性能处于行业领先水平，将热传导真空计的有效测量范围扩展了 1-3 个数量级，树立了新的性能标杆。
SmartPirani™ 采用先进的 MEMS（微机电系统）传感器技术，搭配一流的数字信号处理架构与创新测量算法。结合精密自动化制造与校准工艺，打造出性能卓越的独特产品。SmartPirani™ Lite 专为真空开关功能设计，测量上限为 10 毫巴。如需覆盖至大气压及以上的全量程测量，可选择 VPM-5 SmartPirani™ 变送器。
领先的真空测量技术
VPM-4 SmartPirani™ Lite 变送器表现卓越，将热传导真空计的有效测量范围下探至 1×10⁻⁶ 毫巴，树立了真空测量领域的新标杆。
其扩展测量范围使其可应用于传统由热阴极电离规或冷阴极电离规主导的场景。SmartPirani™ Lite 针对低量程测量性能优化，测量上限为 10 毫巴（7.5 托）。SmartPirani™系列还包括全量程的 VPM-5 SmartPirani™（可提供 2 至 1333 毫巴的与气体无关测量），以及 VPM-7 SmartPirani™ ATM（额外提供大气切换功能）。
适用于高要求应用场景
对于接触腐蚀性或侵蚀性气体的应用，SmartPirani™ 可选配保形防护涂层作为有效屏蔽层。
- 可选陶瓷或派瑞林（Parylene）防护屏障：陶瓷是一种高耐腐蚀材料，广泛用于电容薄膜真空计的真空传感器隔膜；派瑞林是一种特殊聚合物，具备优异的耐腐蚀性与疏水性，适用于冻干、灭菌等医疗应用场景。
- 可选防护挡板：在可能损坏真空计的含颗粒物真空工艺中，可阻挡宏观颗粒物污染。结合防护涂层选项，这些新型 SmartPirani™变送器专为在严苛真空环境中可靠运行而设计。
先进真空工艺的测量与控制
VPM-5 SmartPirani™ 专为行业领先的真空气体压力测量与控制打造，多种输出选项可提供远超压力测量信号本身的功能。
- 模拟输出：模拟输出电压可为外部读取或控制提供信号。VPM-4 提供标准的 1V / 十倍程电压输出信号（单位：毫巴、托或帕），也可由用户配置或预配置多种其他模拟输出选项，实现与其他厂商真空计的无缝即插即用替换。
- 数字连接：RS-232 和 RS-485 串行接口可用于向外部设备传输压力与温度测量数据，支持诊断、预测性维护、服务、校准、设定点配置、模拟输出标定，以及实时真空压力测量数据的采集与屏幕可视化。
可靠的设定点继电器控制
三个独立的固态开关继电器可用于外部控制泵、阀门、安全联锁电路及其他外部设备。
- 相比机电继电器，固态继电器可靠性更高、开关速度更快，且无电弧触点，开关时不会产生电磁干扰（EMI）。
- SmartPirani™ 继电器设计耐用，通过 UL、CSA 认证，符合 EN/IEC 60950-1 标准，在关键真空工艺和高循环应用中使用更有保障。
兼容其他厂商设备
VPM-4 SmartPirani™ 变送器提供引脚兼容、模拟电压压力信号仿真和数字协议仿真功能，可与其他厂商的真空变送器和发射器无缝集成。
- 这些仿真功能可实现传统钨丝皮拉尼变送器、对流真空计和 legacy 微皮拉尼变送器的轻松升级，用户无需修改布线或系统软件即可过渡到新一代真空技术。
- 通过替换老旧真空计和变送器，VPM-4 SmartPirani™ 可在各类应用中实现成本节约并提升测量性能，同时确保与其他厂商控制器和显示单元的兼容性。
通过供电线路实现数字连接
传统上，其他厂商配备 FCC68/RJ45/8P8C 和 Hirschmann 连接器的皮拉尼变送器不支持数字通信。VPM-4 变送器的创新 S4-Connect 接口可通过供电线路实现数字通信，配套的 S4-Connect USB 通信器可轻松配置变送器设置、进行诊断和校准调整。
定制化设置
VPM-4 变送器可根据特定应用需求提供定制配置，确保开箱即可无缝集成并投入使用。预配置选项包括测量范围、真空压力单位、设定点设置和输出信号标定。每台定制产品均分配唯一零件编号，简化后续采购流程并确保一致性。
应用与市场
VPM-4 SmartPirani™ 专为先进真空工艺中的精准测量与控制设计，适用于广泛的工业与科学应用场景，同时提供多种配置方案满足不同应用需求。典型应用包括：
- 氢气供应：氢气储罐和供应管线中绝缘真空的测量与监测。
- 半导体：半导体制造中 CVD、PVD 和前级真空应用的测量，可选耐腐蚀陶瓷传感器。
- 质谱仪：在质谱仪设备中发挥 VPM-4 的低压测量能力优势。
- 空间模拟：模拟太空恶劣环境时测量真空气体压力。
- PVD 涂层：带可维护挡板的 VPM-4 可用于物理气相沉积（PVD）涂层应用，延长设备使用寿命。
- 前级真空：适用于前级真空测量，设定点继电器可通过编程向外部设备提供控制信号。
