描述
定制的多室 UHV 系统，专用于在宽温度和压力范围内研究固态表面的化学和物理特性。
规格
多室系统设计用于在非常好的控制条件下通过不同方法研究和修改固体表面。带有附加分析室和辅助室的中央径向分配室满足这些要求并确保高质量的测量，因为样品在 UHV 压力 (<10-10mbar) 下在室之间转移。分析室中的基础压力 < 5*10-11 mbar。
- 多功能分析室集成了标准ESCA、横向分辨率<9μ的ESCA、AES、ISS和UPS等不同的测量方法。高精度的 5 轴机械手确保样品的良好定位，并配备有用于 LN2 的低温恒温器和用于在很宽的温度范围内冷却和加热样品的加热器。温度范围取决于样品架，可以在 -180°C 到 2000°C 之间变化。腔室由mu金属制成，配备有半球分析仪和分析设备作为离子源、电子源、泛光枪、X射线源，并为许多其他设备做好准备。可根据客户要求对设备进行改造。
- 变温 STM/AFM 室安装在混凝土板上，该板位于带有隔振系统的单独框架上。分配室转移系统允许将样品架直接放置到 STM/AFM 接收站，其方式与位于其他室中的机械手相同。腔室配有电子束蒸发器，可在测量过程中工作。腔室有自己的用于吸头和样品的杂志部件，带有吸头加热站和合适的摇摆棒，用于在杂志和 STM 接收站之间运输。
- 三级制备室，配备LEED、TDS、离子源、电子束蒸发器、机械表面清洁器和许多可用于未来制备或蒸发装置的端口。
- 为粉尘样品泵送准备的负载锁定室，带有内部烘烤系统。
- 切割器室用于切割安装在合适的样品架上的样品。
- 高压室用于加热至 650°C 并将样品在受控气体气氛中在压力下冷却至 2 MPa
- 用于 6 个样品架的样品停放室。
- 为了最大限度地减少 AFM/STM 测量过程中的振动，可以关闭所有机械泵，系统中的真空仅由离子泵和钛升华泵产生。
