PREVAC TPD/TDS系统 TPD/TDS system
用于测量超薄膜吸附/解吸的独立系统，能够在很宽的温度范围内进行高精度温度控制。
- 一级TPD/TDS 室，基础压力为 1×10 -9 mbar（备用端口可用于其他组件）
- 配备四极杆TDS 40A1 热解吸光谱仪（质量范围高达 200 AMU），Z 轴位移可实现最佳检测器定位
- 特殊设计的锥形取样端件
- 1 轴 UHV 机械手，在较宽的温度范围内（-170 °C 至 1200 °C）具有高精度温度控制
- TDS计算机控制的数据采集和处理软件
- 两个 PTS 样品架的负载锁定室
- 从负载锁到 TPD 室的可靠且快速的线性传输系统
- 19“机柜，适用于所有电子单元
- 带大轮子的可调节刚性主框架，便于系统放置
许多可用的升级选项，例如：
- 机械手的附加运动轴和完全电动化
- 通过对压力进行精确的 PLC 控制，可以将压力范围从 UHV 扩展到 1 个大气压
- 气体计量系统（手动或精确的 PLC 控制）
- 溶剂加药系统
- 专用于腐蚀性环境的样品架
- 装载锁的加热和 LN 2冷却选项
- 用于样品制备的专用室
- 用于不同质量范围的残余气体分析仪
应用：
- 表面科学
- 纳米粒子
- 薄膜
- 半导体
- 光伏
- 材料表征
