PREVAC 4-5轴万能机械手 4-5 axes Universal Manipulators
X、Y、Z、R1、R2轴电动4-5*轴机械手是一种高精度、高刚性、模块化结构的UHV试样机械手。
模块化结构意味着可以通过添加或替换明确定义的模块来升级或修改规范。机械手的所有轴均由步进电机或伺服电机驱动。X、Y 和 Z 轴也可以根据需要手动操作。标准安装法兰为 DN 100CF 或 DN 160CF。4-5轴机械手是XY平台、Z滑动和旋转平台的组合。
选项
▪ 全电动
▪ 全软件控制
▪ 温度稳定
▪ 加热选项：直接、电阻或 EB
▪ 适用于反应气体的加热器（电阻加热）
附加信息
多轴机械手配置有一个样品接收站，可以接收 PTS 系列样品架之一。该工作站配备 6 个电触点（2 个 K、C 或 E 型热电偶；2 个高达 1000V 的样品偏置，2 个高达 20A 的加热电流）和用于液氮冷却的蓝宝石球冷却触点。机械手包括所有必要的电气、气体和机械馈通以及用于 XY、Z、R1 和 R2 轴的步进电机和步进电机驱动器。
* 可应要求为 PTS 样品架配备 6 轴机械手。
技术数据
| 标准底座法兰 | DN 100CF 或 DN 160CF |
| 压力范围 | 低至 10 -11毫巴 |
| 加热方式 | 电阻，EB，直接 |
| 冷却方式 | LN 2 |
| XY范围 | ± 12.5 毫米 |
| 位置控制 | 千分尺/机动* |
| 分辨率（手动/机动） | 5微米/1微米 |
| Z范围 | 75 – 800 毫米（其他应要求提供） |
| 位置控制 | 手轮/电动* |
| 分辨率（手动/机动） | 500 μm / 标准 10 μm （1 μm 根据要求） |
| R1范围 | ± 175° |
| 位置控制 | 旋转馈通/机动* |
| 分辨率（机动） | 0.1° |
| R2范围 | 360°连续/±90° |
| 位置控制 | 机动的 |
| 分辨率（机动） | 0.1° |
| 烘烤温度 | 高达 150 °C |
* 步进电机或伺服电机 – 取决于应用。
可根据要求为客户电机或驱动器准备机械手。
