PREVAC 4-6 真空系统 真空轴氦气机械手（闭环）4-6 axes Helium Manipulators (Closed Cycle)

PREVAC 4-6 轴氦气机械手（闭环）4-6 axes Helium Manipulators (Closed Cycle)

带有氦低温恒温器的机械手是一种多功能的闭式循环系统，在超高真空研究中有许多应用。

机械手可以配置 Z 滑块、XY 平台或差动泵送旋转馈通。模块化结构意味着可以通过添加或替换明确定义的模块来升级或修改规范。标准安装法兰为 DN 100CF。该系统通常包括压缩机、高压软管、膨胀机、温度控制器、加热器和传感器。

选项

▪ 全电动
▪ 全软件控制
▪ 氦气回收系统
▪ 可以安装角度装置进行 PES 校准
▪ 用于硅样品直接加热的附加电触点
▪ 低振动低温恒温器
▪ 温度稳定
▪ 加热选项​​：直接、电阻或 EB

加热和冷却方法

样品温度取决于样品架类型：
▪ EB 加热 –高达 1000 °C（第二阶段）
▪ 直接加热10 A
▪ 电阻加热（应要求）
▪ 液氦冷却：
–低于 10 K * (5 -axes 机械手)
* 无需稳定和加热选项即可实现参数。

技术数据

* 用于底座法兰 DN 160CF
** 步进电机或伺服电机 – 取决于应用。
可根据要求为客户电机或驱动器准备机械手。