PREVAC 真空系统 真空1-3轴机械手 1-3 axes Manipulators

PREVAC 真空1-3轴机械手 1-3 axes Manipulators

根据客户精准的个性化需求,我们可以设计和提供各种定制的特高压机械手。

机械手可以在三个正交轴 XYZ 中的任何一个轴上移动样品。使用附加旋转装置可以实现围绕这些轴(R1、R2、R3)的附加旋转运动。为了实现最高的定位精度、分辨率和可重复性,XYZ 机械手和旋转驱动器的运动可以是电动的。机械手可以在任何方向工作。

加热和冷却选项

PTS 和旗帜样式的样品架系列与每个机械手上的接收站对接。根据要求,样品可以通过电阻或电子束或直流电加热。它们使用安装在机械手上的低温恒温器进行冷却,液氮 (LN2) 或液氦 (LHe) 流过低温恒温器。

 


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