ES 40C1 电子源是一种具有小光斑轮廓的可扫描电子枪。
由于 Einzel-Lens 的高透射率,ES 40C 可在很宽的能量范围内提供高电子束电流。ES 40C1 设计用于在 AES、扫描应用、成像、EELS 和电子脉冲或解吸实验 (ESD) 中稳定可靠地运行。
特征
- 精细聚焦微成型尖端阴极
- 具有小光斑轮廓的可扫描电子源
- 入射电子束角度校正(ES40-PS电源提供)
- 集成扫描和偏转单元
选项
- 线性移位
- 定制插入长度
- 源屏蔽材料(μ-金属或铜)
技术规格
安装法兰 | DN 40CF(可旋转) |
能量范围 | 0 – 5 keV |
采样电流 | 高达 100 μA |
扫描区域 | 10 毫米 x 10 毫米 |
盾 | Cu或μ金属 |
阴极类型 | 钍钨 |
插入长度 | 分钟 155.7 毫米,(其他应要求提供)外径:33.5 毫米(微米金属),35 毫米(铜) |
半高宽 | 取决于工作距离,分钟。120 µm(距离 56 mm) |
工作距离 | 23 毫米 – 150 毫米(典型 75 毫米) |
烘烤温度 | 高达 250 °C |
工作压力 | < 5×10 -6毫巴 |