PREVAC 特高压多室系统 UHV multichamber system [project 422]
用于 FTIR 研究的多技术 UHV 系统，配备 MBE 室和制备模块。
– 红外室允许在真空条件下进行红外测量：
- 用于 Bruker Optics Inc. 红外光谱仪的溴化钾玻璃端口制备系统。
- 具有 LN 2冷却和高达 2000°C EB 加热的高精度 4 轴机械手允许在以下两种模式下进行测量：反射和透射模式
- 用于样品清洁的离子溅射源
- 带有专用框架的高精度红外真空光谱仪允许
- 气体加药系统
- 宽范围压力调节系统（1 mbar -10 -10 mbar）
– 非有机材料两级制备室：
- 具有 LN 2冷却和高达 2000°C 的 EB 加热的高精度 4 轴机械手
- 用于样品清洁的离子溅射源
- 原子氢源
- LEED –AUGER 光学
- 热解吸光谱仪 TDS
– 带低温防护罩的 MBE 室保证基础压力优于 1 x 10 -10毫巴
- 高精度、特殊设计的 2 轴 MBE 机械手，带手动快门、LN 2冷却和 EB 加热
- 工作温度高达 1600°C 的 Efusion Cell
- 电子束蒸发器
- 沉积速率测量系统：石英平衡和厚度监视器
- 反射高能电子衍射 RHEED 15 KeV
- 等离子体原子源
– 用于转移样品的径向分配室 (UFO) 在 UHV 压力下在室之间转移
– 负载锁定室允许装载 PTS 样品架
– 存储室包括用于 6 PTS 样品架的停放机制
– 附件：
- 一套专用、多功能、多材料样品架
- 所有电子单元的特殊机架
- 特殊设计的烘烤系统
- 备件
