PREVAC 特高压分析系统 [项目 428] UHV analytical system [project 428]

PREVAC 特高压分析系统 [项目 428] UHV analytical system [project 428]

 

专用于正电子湮没和表面分析的分析 UHV 系统。

传输系统:

PTS 样品架。

系统配置:

– 基础压力范围为 10 -10 mbar 的分析室包括:

  • 5轴全电动机械手
  • 电子能量分析仪 XPS/UPS/ARPES
  • 用于 XPS 测量的单色 X 射线源
  • 具有用于 UPS 测量的专用泵系统的单色 UV 源。
  • 用于深度分析的离子源
  • 其他组件的额外自由端口

– 带设备的离子辐照室

– 加载锁定室允许加载 PTS 样品架

– 用于在 UHV 压力下在腔室之间传输样品的线性传输

– 配件:

  • 一套专用、多功能、多材料样品架
  • 所有电子单元的特殊机架
  • 特殊设计的烘烤系统
  • 工具包

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