PREVAC 特高压分析系统 [项目 428] UHV analytical system [project 428]
专用于正电子湮没和表面分析的分析 UHV 系统。
传输系统:
PTS 样品架。
系统配置:
– 基础压力范围为 10 -10 mbar 的分析室包括:
– 带设备的离子辐照室
– 加载锁定室允许加载 PTS 样品架
– 用于在 UHV 压力下在腔室之间传输样品的线性传输
– 配件:
- 一套专用、多功能、多材料样品架
- 所有电子单元的特殊机架
- 特殊设计的烘烤系统
- 工具包
PREVAC 特高压分析系统 [项目 428] UHV analytical system [project 428]
专用于正电子湮没和表面分析的分析 UHV 系统。
传输系统:
PTS 样品架。
系统配置:
– 基础压力范围为 10 -10 mbar 的分析室包括:
– 带设备的离子辐照室
– 加载锁定室允许加载 PTS 样品架
– 用于在 UHV 压力下在腔室之间传输样品的线性传输
– 配件:
PREVAC离子束刻蚀,离子源