描述
该多功能系统专为对材料表面进行精确多样的分析而设计。
规格
系统由固定真空室的主机架组成；分析室、制备室、负载锁定室和线性转移。所有框架都是独立的，并配有带螺钉锁定装置的脚轮，用于地板定位。框架可以根据需要断开连接并移动到实验室内的其他位置。每个框架还配备了自己的烘烤帐篷。该系统非常通用，未来可以进一步扩展以添加例如切割室、存储室和/或 PLD 室。
该系统有一个独立的独立式控制器柜，用于真空和仪表设备。
UHV 系统包括各种互锁涡轮分子泵组、离子泵和钛升华泵。泵送系统、仪表和阀门（安全和通风）完全由微处理器和软件控制，并带有完整的安全联锁装置。
各个腔室都通过光纤出口进行内部照明，以监视腔室之间的样品转移/支架机制。
该系统配备有蒸馏水冷却器。
提供各种样品架以提供广泛的加热和冷却能力。
