一种分析 UHV 系统，专门用于研究低温和 UHV 条件下固态表面的化学和物理特性。
传输系统：
迷你 PTS 样品架。
系统配置：
– 基础压力范围为 5*10 -11 mbar 的分析室包括：
- 具有 LHe 冷却功能的闭环 5 轴高分辨率机械手（样品温度低至 13K）——全电动
- 高性能电子分析仪 XPS/UPS/ARPES
- 用于 XPS 测量的单色 X 射线源
- 带有用于 UPS 测量的专用泵系统的单色 UV 源。
- 其他组件的额外自由端口
– 装载锁定室允许装载多达 5 个 miniPTS 样品架
– 两级制备室配备：
- 具有 LN 2冷却和高达 1200°C EB 加热的高精度 4 轴机械手
- 用于样品清洁的离子溅射源
- 沉积速率测量系统：石英平衡和厚度监视器
- 电子束蒸发器
- LEED 用于 Leed/Auger 测量
- 未来其他组件的额外自由端口
– 存储室，包括用于六个 miniPTS 样品架的停放机制
– 用于转移样品的径向分配室 (UFO) 在 UHV 压力下在室之间转移
– 配件：
- 一套专用、多功能、多材料样品架
- 所有电子单元的特殊机架
- 特殊设计的烘烤系统
- 冷水机
- 工具包
