TES 系列电子源 离子源

 TES-GO

应用

・蚀刻

・溅射

・成型

・表面改性与活化

・电化学

・中和

・束流管道

优点

・可在真空环境下移动

・长期稳定性

・结构紧凑

・维护量少，无灯丝，无需冷却

・即插即用

・独立电子机架，可定制

TES-40

应用

・蚀刻

・溅射

・修形

・表面改性与活化

・电化学

・中和

优点

・长期稳定性

・紧凑性

・维护成本降低，无灯丝，无需冷却

・即插即用

・独立的电子机架，可定制

TES-63

应用

・蚀刻

・溅射

・成型加工

・质谱分析

・加速器

・束流管道

・电化学

优点

・高亮度系统

・高功率电子束

・长期稳定性

・紧凑性

・连续波或脉冲

・无需维护、无灯丝、无需冷却

・即插即用

・独立的电子机架

TES-100

应用

・加速器

・质谱分析

・表面改性

・电化学

优势

・高亮度系统

・高功率电子束

・长期稳定性

・连续波或脉冲

・无需维护、无灯丝、无需冷却

・即插即用 CF100

・独立电子机架，可定制