Polygon Physics 基于 CF63 法兰的紧凑型 ECR 离子源 TES-63

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基于 CF63 法兰的紧凑型电子回旋共振离子源，束流最高可达 15 千伏

TES-63 依托安装于 CF63 刀口法兰的 TES 谐振腔设计，可承受最高 15 千伏的束流能量。

TES-63 提供三种型号：

TES-63 是 TES 系列中唯一配备扫描器选配件的型号，可实现束流精准偏转并在指定表面进行扫描。借助波形发生器，束流轨迹可实现光栅扫描或任意曲线扫描。

选配双极性功能后，该离子源可交替产生离子束与电子束，从而以单一源体满足多种应用需求。

TES-63	electrons	Ions Broad Beam	ions-high brightness	ions-scanner
Applications	Electron chemistry (down to 100 V) / High power e-beam up to 1.5 kW	Beam line, accelerator, mass spectroscopy, sputtering	Beam line, accelerator, mass spectroscopy, etching	Etching, Figuring
Energy range	100 V – 15 kV	0.5 – 15 kV	0.5 – 15 kV	0.5 – 15 kV
Current	0.1 to 50 mA	0.1 to 5 µA – typ. with 0.3 mm extractor 10 to 500 µA – typ. with 3 mm extractor	0.3 to 300 µA	10 to 500 µA
Beam size (typ. @ 10 cm from Einzel)	Energy and focus dependent	0.3 -30 mm	0.5-5 mm	0.3 to 5mm
Insertion depth	from 150 mm or longer on demand	from 150 mm or longer on demand	300 mm with Einzel	360 mm with Einzel and scanner

Polygon Physics 基于 CF100 法兰的紧凑型电子回旋共振离子源 TES-100