Polygon Physics Mobile ECR source, up to 5kV beam 移动式电子回旋共振离子源 TES-GO

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TES-GO 是一款真空移动式离子源，可维持最高 5kV 的束流能量。

柔性线缆将 TES-GO 与安装在真空腔室上的 CF40 法兰相连。该离子源设计配有安装支架，可根据需求定制。此离子源可安装在用户的移动平台上（不含移动平台），能够对大面积区域或精确定义的区域进行绝缘处理。

TES-GO 共有三种版本可供选择：

・高亮度离子版通常配备单透镜，非常适用于溅射、铣削、刻蚀及成形加工等应用场景。

・宽束离子版非常适用于清洁与抛光应用。

・电子版可作为中和器使用，产生低能电子束，用于电荷补偿或最高 5 千伏的等离子体化学研究。

选配双极模式后，可交替产生离子和电子，从而用单一离子源满足多种应用需求。

TES-GO	ions-high brightness	ions-broad beam	electrons-neutralizer
Applications	Etching, figuring, sputtering, surface activation, beam line	Etching, sputtering, surface activation	Electron chemistry, ions-high brightness, surface modification
Energy range	0.5 – 5 kV	0.1 – 5 kV	0.1 – 5 kV
Current	10 to 500 µA	0.3 to 3 mA	0.1 to 50 mA
Beam size (typ. @ 4 cm)	0.3 to 15mm	Energy dependent	3-30 mm
Source length (exc. connectors)	192 mm with Einzel	150 mm	150 mm / 192 mm with Einzel

Polygon Physics 基于 CF100 法兰的紧凑型电子回旋共振离子源 TES-100