Polygon Physics ECR 技术离子源
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电子源与离子源产品的核心部位，均配备一项专利微波放电系统，可在极低功耗（约 1 瓦）下激发并维持电子回旋共振（ECR）等离子体。这意味着我们能够采用与手机中类似的简易低功率发射器。电子回旋共振技术结合腔体的超紧凑设计，可实现由独立控制腔体组成的阵列，从而生成任意尺寸的等离子体片。通过加装引出光学组件，我们可将这些等离子体转化为任意形状与规格的离子束或电子束。
依托这项独特的单腔体电子回旋共振技术，CAMECA TES 型离子源与电子源成为目前市场上体积最小的微波等离子体源。
独特单腔电子回旋共振（ECR）技术的核心特性与优势
最高正常运行时间与可靠性
TES 系列离子源与电子源基于专利单腔 ECR 技术研发。该系列可在极低功率（低于 5 瓦）下工作，无需对离子源进行冷却，彻底消除所有相关冷却问题。
TES 系列产品稳定性极强，使用寿命极长：多款型号可连续运行超 15000 小时，无需人工干预，且性能无衰减。
TES 可在极宽的压力范围内工作，适用于从超高真空到初级真空的各类应用场景，尤其适合需要外部供气或泵送环境未达最优的工艺场景。
易用性与自动化
CAMECA 独有的单腔室电子回旋共振（ECR）技术，仅需在控制软件上按下一个按钮，即可轻松启动离子源。离子源点火后不到一分钟，就能达到额定稳定工作状态。离子源启动也可按预设时间自动执行。
TES 离子源标配图形化操作界面，用于控制离子源，同时配备 API 库，便于将相关源代码集成至设备控制软件中。
每台 TES 离子源均可选配脉冲束流模块，实现对束流随时间变化的精准控制。
多功能性
每台 TES 离子源均可配置为产生离子或电子。全系 TES 型号均支持双极性模式，可交替产生正离子 / 电子以及负离子。因此，TES 产品线可广泛应用于质谱分析、离子注入、离子束修形、核物理与原子物理等众多领域。
