
MDC 的 3/4 英寸(19.05 mm)端口真空角阀是一种精密设计的组件,用于控制真空系统中气体、液体或材料的流动。这类阀门通过执行器驱动的阀芯(poppet)与阀体组件,实现通道的开启、关闭或节流,从而调节流量。执行器带动阀芯运动,使其与阀座密封或分离,以保持系统的真空完整性。整个组件采用真空密封结构设计,可通过螺纹连接、法兰连接或焊接方式集成到更大的真空系统中。
MDC 的不锈钢真空角阀在设计上追求高导通能力与紧凑系统集成。阀体采用熔焊 304 不锈钢(AISI 304)制造,并配备耐用的 AM-350 不锈钢波纹管密封结构,具有低放气率、优异的耐用性以及便捷的安装特性。其结构避免了内部死腔,并采用小截面弹性密封材料,从而进一步提升真空性能。端口尺寸范围从 0.25 英寸(6.4 mm)到 10 英寸(254 mm),并提供多种接口形式,包括 Conflat® 1-1/3 英寸金属密封法兰(33.7 mm)、ISO NW16 弹性体密封法兰以及 3/4 英寸管焊接(19.05 mm)连接方式。
MDC真空角阀3/4英寸端口角阀不锈钢结构多种接口可选应用领域
MDC 的 3/4 英寸真空角阀适用于需要高精度、无泄漏流量控制的行业,包括半导体制造、分析仪器、真空镀膜以及科研实验室等。其坚固的不锈钢结构与多样化连接方式,使其能够在严苛的真空工艺与气体处理应用中提供可靠性能。
3/4英寸真空角阀型号对照表
| 型号(PART) | 真空系列 | 阀门尺寸 | 驱动方式 | 端口法兰 | 端口连接 | 阀盖密封 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 312015 | UHV(超高真空) | 19.05 mm | 手动 | ConFlat(CF) | 33.87 mm | 金属密封 |
| 312021 | UHV | 19.05 mm | 手动 | 管焊(Tube Weld) | 19.05 mm | 金属密封 |
| 313015 | UHV | 19.05 mm | 气动 | ConFlat(CF) | 33.87 mm | 金属密封 |
| 313021 | UHV | 19.05 mm | 气动 | 管焊(Tube Weld) | 19.05 mm | 金属密封 |
| 310015 | HV(高真空) | 19.05 mm | 手动 | ConFlat(CF) | 33.87 mm | FKM橡胶密封 |
| 310072 | HV | 19.05 mm | 手动 | ISO | NW16 | FKM橡胶密封 |
| 310021 | HV | 19.05 mm | 手动 | 管焊(Tube Weld) | 19.05 mm | FKM橡胶密封 |
| 311015 | HV | 19.05 mm | 气动 | ConFlat(CF) | 33.87 mm | FKM橡胶密封 |
| 311072 | HV | 19.05 mm | 气动 | ISO | NW16 | FKM橡胶密封 |
| 311021 | HV | 19.05 mm | 气动 | 管焊(Tube Weld) | 19.05 mm | FKM橡胶密封 |
标准特性
- 提供超高真空(UHV)与高真空(HV)两种系列
- 多种连接方式可选:Conflat® 1-1/3 英寸金属密封法兰(33.7 mm)、ISO NW16 弹性体密封法兰、3/4 英寸管焊连接(19.05 mm)
- 可选手动或电气气动执行器,实现灵活操作
- 集成120VAC气动控制电磁阀,用于自动阀门控制
- 采用OFE无氧铜金属密封或FKM弹性体阀盖密封,密封可靠
- 执行器采用焊接波纹管密封结构,提升真空完整性
- 内部结构采用TIG焊接工艺,确保结构强度
- 内外表面经过电解抛光处理,具备良好的耐腐蚀性与洁净度
可选功能
- 电机械式位置指示器
- 磁簧开关位置反馈
- 气动控制电磁阀可支持240VAC与24VDC
- 高温250°C Kalrez®弹性体阀芯密封,适用于严苛环境
技术规格
材料
- 法兰:304不锈钢
- 阀体:304不锈钢
- 气缸:特氟龙涂层铝合金
- 执行器密封:AM-350焊接波纹管
- 阀盖密封:OFE铜或FKM弹性体
- 阀芯密封:FKM或Kalrez® 4079弹性体
- 气动执行器密封:FKM弹性体
- 紧固件:300系列不锈钢
电气气动执行器
- 气源压力:70–100 psig
- 气动控制电磁阀:
- 1/4″–1-1/2″采用310系列Humphrey电磁阀
- 2″–10″采用410系列Humphrey电磁阀
- 电磁阀电源:120VAC,50/60Hz,4W
- 断电状态:阀门关闭
位置指示器
- 磁性:0.5A,120VAC,最大10W
- 机械式:5A,120/240VAC微动开关
端口紧固
- 螺栓类型:镀银12点螺栓及内六角螺栓
- 螺母类型:六角螺母
Conflat法兰紧固扭矩
- 8-32 UNC:7 lb-ft
- 1/4-28 UNF:12 lb-ft
- 5/16-24 UNF:15 lb-ft
- 3/8-24 UNF:26 lb-ft
真空性能
- 真空范围:可达1×10⁻¹¹ Torr
- 氦检漏率:2×10⁻¹⁰ cc/sec He
温度范围(烘烤能力)
- UHV系列(铜 / FKM):开状态200°C / 关状态150°C
- UHV系列(铜 / Kalrez®):开状态250°C / 关状态200°C
- HV系列(FKM / FKM):开状态150°C / 关状态150°C
