MDC真空角阀312037超高真空半导体真空冶金2-1/2 英寸真空角阀
MDC 的 2-1/2 英寸真空角阀专为超高真空（UHV）与高真空（HV）应用设计，可在先进真空系统中提供可靠且精确的流量控制。这类阀门采用坚固的执行器-阀芯-阀体组件结构，通过焊接波纹管与阀盖密封实现真空管路的开启或关闭，同时保持系统的真空完整性。
该产品采用熔焊 304 不锈钢制造，并配备 AM-350 不锈钢波纹管结构，具有低放气率、耐用性强以及安装洁净等特点。内部采用TIG焊接工艺，并采用紧凑且无死腔的设计，从而提升洁净度与整体性能。
端口连接方式包括 Conflat 4-1/2 英寸（114.3 mm）金属密封法兰、ISO NW63（63.5 mm）快接法兰以及 2-1/2 英寸（63.5 mm）管焊连接，支持灵活的系统集成。控制方式包括手动与电气气动执行器，标准配置为120VAC电磁阀，并可提供其他电压选项。
MDC真空角阀312037超高真空半导体真空冶金2-1/2 英寸真空角阀应用领域
MDC 的 2-1/2 英寸真空角阀适用于半导体制造、真空冶金、表面科学以及工业研发等领域。其优异的超高真空性能、洁净的内部表面以及模块化驱动方式，使其成为高性能真空腔体、镀膜系统及分析仪器中的理想选择。
2-1/2英寸真空角阀型号对照表
| 型号 | 真空系列 | 阀门尺寸 | 驱动方式 | 端口法兰 | 端口连接 | 阀盖密封 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 312037 | UHV（超高真空） | 63.50 mm | 手动 | ConFlat（CF） | 114.30 mm | 金属密封 |
| 312040 | UHV | 63.50 mm | 手动 | 管焊 | 63.50 mm | 金属密封 |
| 313037 | UHV | 63.50 mm | 气动 | ConFlat（CF） | 114.30 mm | 金属密封 |
| 313040 | UHV | 63.50 mm | 气动 | 管焊 | 63.50 mm | 金属密封 |
| 310037 | HV（高真空） | 63.50 mm | 手动 | ConFlat（CF） | 114.30 mm | FKM橡胶密封 |
| 310076 | HV | 63.50 mm | 手动 | ISO | NW63 | FKM橡胶密封 |
| 310040 | HV | 63.50 mm | 手动 | 管焊 | 2-1/2英寸管焊 | FKM橡胶密封 |
| 311037 | HV | 63.50 mm | 气动 | ConFlat（CF） | 114.30 mm | FKM橡胶密封 |
| 311078 | HV | 63.50 mm | 气动 | ISO | NW63 | FKM橡胶密封 |
| 311040 | HV | 63.50 mm | 气动 | 管焊 | 2-1/2英寸管焊 | FKM橡胶密封 |
特性
标准特性
- 提供超高真空与高真空系列
- 连接方式包括：
- Conflat® 1-1/3 英寸金属密封法兰（33.7 mm）
- ISO NW16 弹性体密封法兰
- 1/4 英寸与 1/2 英寸管焊连接（6.35 mm 与 12.7 mm）
- 1/4 英寸 Swagelok VCR® 接头（6.35 mm）
- 可选手动与电气气动执行器
- 集成120VAC气动控制电磁阀
- 阀盖密封采用无氧铜金属密封或FKM弹性体密封
- 执行器采用焊接波纹管密封结构，适用于超高真空
- 阀体内部采用TIG焊接工艺
- 内外表面电解抛光处理，具备良好耐腐蚀性与洁净度
可选功能
- 电机械式与磁簧开关位置指示器
- 气动控制电磁阀支持240VAC与24VDC
- 高温250°C Kalrez®弹性体阀芯密封
技术规格
材料
- 法兰：304不锈钢
- 阀体：304不锈钢
- 气缸：特氟龙涂层铝合金
- 执行器密封：AM-350焊接波纹管
- 阀盖密封：无氧铜或FKM弹性体
- 阀芯密封：FKM或Kalrez® 4079弹性体
- 气动执行器密封：FKM弹性体
- 螺栓：300系列不锈钢
电气气动执行器
- 气源压力：70–100 psig
- 气动控制电磁阀：410系列 Humphrey 电磁阀
- 电磁阀功率：120VAC，50/60Hz，4W
- 断电状态：阀门关闭
位置指示器
- 磁性：0.5A，120VAC，最大10W
- 机械式：5A，120/240VAC微动开关
端口紧固
- 螺栓类型：镀银12点螺栓及内六角螺栓
- 螺母类型：六角螺母
Conflat法兰紧固扭矩
- 8-32 UNC：7 lb-ft
- 1/4-28 UNF：12 lb-ft
- 5/16-24 UNF：15 lb-ft
- 3/8-24 UNF：26 lb-ft
真空性能
- 真空范围：可达1×10⁻¹¹ Torr
- 氦检漏率：2×10⁻¹⁰ cc/sec
温度范围（烘烤能力）
- UHV系列（铜 / FKM）：开状态200°C / 关状态150°C
- UHV系列（铜 / Kalrez）：开状态250°C / 关状态200°C
- HV系列（FKM / FKM）：开状态150°C / 关状态150°C
