MDC 4英寸真空角阀集成120VAC气动控制电磁阀超高真空系列阀门
MDC 的 4 英寸真空角阀专为高真空与超高真空系统中的流体控制而精密设计。该产品采用坚固的 304 不锈钢阀体，通过手动或电气气动执行器驱动阀芯机构，实现阀口的开启与关闭。AM-350 不锈钢焊接波纹管结构确保执行过程的密封可靠性与长寿命运行。产品内部死腔极少，并采用TIG焊接工艺连接各部件，从而提供优异的真空性能并便于集成到复杂系统中。
可选连接方式包括 Conflat 6 英寸（152.4 mm）金属密封法兰、ISO NW100 快接法兰（100 mm），以及 4 英寸（101.6 mm）管焊连接。
该系列产品针对高导通能力、低放气率以及在腐蚀性和高要求真空环境中的长期稳定性进行了优化设计。
应用领域
MDC 的 4 英寸真空角阀适用于半导体工艺、真空炉、表面科学、空间模拟以及薄膜制造等领域。其焊接结构、金属与弹性体密封组合以及多种驱动方式，使其能够可靠集成于先进科研及工业真空系统中。
4英寸真空角阀型号对照表
| 型号 | 真空系列 | 阀门尺寸 | 驱动方式 | 端口法兰 | 端口连接 | 阀盖密封 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 312045 | UHV（超高真空） | 101.60 mm | 手动 | ConFlat（CF） | 152.40 mm | 金属密封 |
| 312048 | UHV | 101.60 mm | 手动 | 管焊 | 101.60 mm | 金属密封 |
| 313045 | UHV | 101.60 mm | 气动 | ConFlat（CF） | 152.40 mm | 金属密封 |
| 313048 | UHV | 101.60 mm | 气动 | 管焊 | 101.60 mm | 金属密封 |
| 310045 | HV（高真空） | 101.60 mm | 手动 | ConFlat（CF） | 152.40 mm | FKM橡胶密封 |
| 310078 | HV | 101.60 mm | 手动 | ISO | NW63 | FKM橡胶密封 |
| 310048 | HV | 101.60 mm | 手动 | 管焊 | 101.60 mm | FKM橡胶密封 |
| 311045 | HV | 101.60 mm | 气动 | ConFlat（CF） | 152.40 mm | FKM橡胶密封 |
| 311080 | HV | — | 气动 | — | — | — |
| 311048 | HV | 101.60 mm | 气动 | 管焊 | 101.60 mm | FKM橡胶密封 |
特性
MDC 4英寸真空角阀集成120VAC气动控制电磁阀超高真空系列阀门主要特点
- 提供超高真空与高真空系列
- 连接方式包括：
- Conflat® 6 英寸（152.4 mm）
- ISO NW100 KF（100 mm）
- 4 英寸管焊连接（101.6 mm）
- 可选手动与电气气动执行器
- 集成120VAC气动控制电磁阀
- 阀盖密封采用无氧铜金属密封或FKM弹性体密封
- 执行器采用焊接波纹管密封结构，确保真空可靠性
- 阀体内部采用TIG焊接工艺，消除隐藏泄漏点
- 内外表面电解抛光处理，实现超洁净性能
可选功能
- 电机械式位置指示器
- 磁簧开关位置反馈
- 气动控制电磁阀支持240VAC与24VDC
- 高温Kalrez®弹性体阀芯密封，最高耐温250°C
技术规格
材料
- 法兰：304不锈钢
- 阀体：304不锈钢
- 气缸：特氟龙涂层铝合金
- 执行器密封：AM-350焊接波纹管
- 阀盖密封：无氧铜或FKM弹性体
- 阀芯密封：FKM或Kalrez® 4079弹性体
- 气动执行器密封：FKM弹性体
- 螺栓：300系列不锈钢
电气气动执行器
- 气源压力：70–100 psig
- 气动控制电磁阀：410系列 Humphrey 电磁阀
- 电磁阀功率：120VAC，50/60Hz，4W
- 断电状态：阀门关闭
位置指示器
- 磁性：0.5A，120VAC，最大10W
- 机械式：5A，120/240VAC微动开关
端口紧固
- 螺栓类型：镀银12点螺栓及内六角螺栓
- 螺母类型：六角螺母
Conflat法兰紧固扭矩
- 8-32 UNC：7 lb-ft
- 1/4-28 UNF：12 lb-ft
- 5/16-24 UNF：15 lb-ft
- 3/8-24 UNF：26 lb-ft
真空性能
- 真空范围：可达1×10⁻¹¹ Torr
- 氦检漏率：2×10⁻¹⁰ cc/sec
温度范围（烘烤能力）
- UHV系列（铜 / FKM）：开状态200°C / 关状态150°C
- UHV系列（铜 / Kalrez）：开状态250°C / 200°C
- HV系列（FKM / FKM）：开状态150°C / 150°C
