MDC角阀6.35毫米进气口不锈钢高压系统真空阀

MDC角阀6.35毫米进气口不锈钢高压系统真空阀

1/4″ 接口角阀(Angle Valves)

MDC1/4 英寸(6.35 mm)接口真空角阀 是用于真空系统中调节气体液体或其他介质流动的精密组件。该阀门通过执行机构(Actuator)、阀芯(Poppet)和阀体(Valve Body) 的组合运行,通过密封或开启阀口实现流量控制。阀门组件安装于真空密封不锈钢阀体 内,可通过螺纹连接法兰连接或焊接方式 方便集成到现有系统中。

产品采用熔焊式 304 不锈钢AISI 304) 制造,并配备 AM-350 不锈钢嵌套波纹管(Nesting Bellows),具有优异导流性能结构紧凑低放气特性(Low Outgassing)。内部消除了盲腔设计,并采用小截面弹性密封材料,以进一步提升真空兼容性。

接口尺寸范围覆盖 0.25 英寸(6.4 mm)至 10 英寸(254 mm)。当前型号提供以下连接方式:

1/4″ Tube Weld(6.35 mm)管焊接口
1/4″ Swagelok VCR® 接头(6.35 mm)
行业应用(Industry Applications)

MDC 的 1/4 英寸(6.35 mm)接口真空角阀 非常适用于以下需要高精度真空控制的应用场景:

半导体制造
气体分析系统
研发实验室(R&D Labs)
真空镀膜
泄漏检测(Leak Testing)

其紧凑型设计、不锈钢结构及低放气性能,使产品在超高真空(UHV)及高真空(HV)环境 中具备优异可靠性,特别适用于对安装空间有限和系统完整性要求严格 的应用场景。

零件编号(PART)真空等级(Vacuum Series)阀门尺寸(Valve Size)驱动方式(Actuator)接口类型(Port Flange)接口尺寸(Flange Size)阀盖密封(Bonnet Seal)
312053超高真空(UHV)6.35 mm手动(Manual)VCR 母接头(Female VCR)6.35 mm金属密封(Metal)
312054超高真空(UHV)6.35 mm手动(Manual)管焊接口(Tube Weld)6.35 mm金属密封(Metal)
313070超高真空(UHV)6.35 mm气动(Pneumatic)VCR 母接头(Female VCR)6.35 mm金属密封(Metal)
313071超高真空(UHV)6.35 mm气动(Pneumatic)管焊接口(Tube Weld)12.70 mm金属密封(Metal)
310080高真空(HV)6.35 mm手动(Manual)VCR 母接头(Female VCR)6.35 mmFKM 密封(氟橡胶密封)
310081高真空(HV)6.35 mm手动(Manual)管焊接口(Tube Weld)6.35 mmFKM 密封(氟橡胶密封)
311087高真空(HV)6.35 mm气动(Pneumatic)VCR 母接头(Female VCR)6.35 mmFKM 密封(氟橡胶密封)
311088高真空(HV)6.35 mm气动(Pneumatic)管焊接口(Tube Weld)6.35 mmFKM 密封(氟橡胶密封)

补充术语说明:

  • UHV(Ultra High Vacuum):超高真空,一般指 10⁻⁹ Torr 以下 真空环境。
  • HV(High Vacuum):高真空,一般指 10⁻³ ~ 10⁻⁹ Torr 真空范围。
  • Female VCR:VCR 金属密封真空接头母头,常用于高纯气体和超高真空系统
  • Tube Weld:管焊连接,通过焊接方式实现永久密封连接。
  • FKM(Fluoroelastomer):氟橡胶密封材料(类似 Viton 材料),耐化学腐蚀和高温,但真空性能通常低于金属密封。
  • Bonnet Seal(阀盖密封):阀杆区域的密封方式,影响阀门的真空等级和漏率性能。

MDC角阀6.35毫米进气口不锈钢高压系统真空阀标准特性

  • 提供超高真空和高真空系列可选
  • 提供多种连接方式:
  • 提供手动驱动和电控气动驱动方式
  • 集成 120VAC 气动控制电磁阀
  • 采用无氧高导电铜金属密封和氟橡胶阀盖密封,确保可靠密封性能
  • 采用焊接波纹管执行机构密封设计,提高超高真空环境可靠性
  • 内部阀体连接采用耐用钨极惰性气体保护焊工艺
  • 内外表面经过电解抛光处理,具有光滑、耐腐蚀特性

可选功能

  • 可选机电式和磁簧开关位置指示器
  • 可选适配 240VAC 和 24VDC 电源规格的气动控制电磁阀
  • 可选配耐温 250°C 的高温全氟橡胶阀芯密封件

材料

  • 法兰:304不锈钢
  • 阀体:304不锈钢
  • 气缸:特氟龙涂层铝
  • 执行机构密封:AM-350焊接波纹管
  • 密封垫(阀盖):OFE无氧铜或FKM氟橡胶
  • 密封垫(阀芯):FKM或Kalrez® 4079氟橡胶
  • 气动执行器密封:FKM氟橡胶
  • 螺栓:300系列不锈钢

电气与气动参数

  • 电控气动执行器工作压力:70–100 psig
  • 供气压力:70–100 psig
  • 气动控制阀:Humphrey 410系列电磁阀
  • 电磁阀功率:120VAC,50/60Hz,4W
  • 断电状态:阀门关闭
  • 磁性位置指示器:0.5A,120VAC,最大10W
  • 机械位置指示器:5A,120/240VAC微动开关

接口紧固件

  • 螺栓类型:镀银12角头螺栓及内六角螺栓
  • 螺母类型:六角螺母

Conflat(CF)法兰紧固扭矩

  • 8-32 UNC:7 lb-ft
  • 1/4-28 UNF:12 lb-ft
  • 5/16-24 UNF:15 lb-ft
  • 3/8-24 UNF:26 lb-ft

真空性能

  • 真空范围:可达 1×10⁻¹¹ Torr
  • 氦检漏率:2×10⁻¹⁰ cc/sec

温度范围(烘烤能力)

在真空条件下、开/关状态下不同密封组合的耐温能力:

  • UHV系列(铜 / FKM):200°C(开)/150°C(关)
  • UHV系列(铜 / Kalrez®):250°C(开)/200°C(关)
  • HV系列(FKM / FKM):150°C(开)/150°C(关)

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