MDC 的 1-1/2 英寸（38.1 mm）真空角阀是一种精密设计的组件，用于在高真空（HV）和超高真空（UHV）系统中控制气体、液体或材料的流动。这类阀门采用执行器驱动的阀芯机构，通过真空密封的熔焊 304 不锈钢阀体实现可靠的流量控制。内部配备 AM-350 不锈钢波纹管密封结构，可实现低放气率并确保长期稳定运行性能。
为提升真空效率，该系列阀门去除了内部死腔结构，并采用小截面弹性体密封，从而降低污染风险并优化真空性能。
端口连接方式包括：Conflat® 2-3/4 英寸（69.85 mm）金属密封法兰、ISO NW40 Kwik-Flange™ KF（40 mm）、1-1/2 英寸管焊连接（38.1 mm）。
MDC真空角阀1-1/2英寸端口角阀不锈钢气体控制真空阀应用领域
MDC 的 1-1/2 英寸（38.1 mm）真空角阀适用于半导体工艺、真空镀膜、空间模拟、薄膜沉积以及分析仪器等关键应用领域。其紧凑结构、高导通能力以及超洁净内表面处理，使其能够在多种真空环境中实现高精度流量控制与无污染运行。
1-1/2英寸真空角阀型号对照表
| 型号 | 真空系列 | 阀门尺寸 | 驱动方式 | 端口法兰 | 端口连接 | 阀盖密封 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 312029 | UHV（超高真空） | 38.10 mm | 手动 | ConFlat（CF） | 69.85 mm | 金属密封 |
| 312032 | UHV | 38.10 mm | 手动 | 管焊（Tube Weld） | 38.10 mm | 金属密封 |
| 313029 | UHV | 38.10 mm | 气动 | ConFlat（CF） | 69.85 mm | 金属密封 |
| 313032 | UHV | 38.10 mm | 气动 | 管焊（Tube Weld） | 38.10 mm | 金属密封 |
| 310029 | HV（高真空） | 38.10 mm | 手动 | ConFlat（CF） | 69.85 mm | FKM橡胶密封 |
| 310074 | HV | 38.10 mm | 手动 | ISO | NW40 | FKM橡胶密封 |
| 310032 | HV | 38.10 mm | 手动 | 管焊（Tube Weld） | 38.10 mm | FKM橡胶密封 |
| 311029 | HV | 38.10 mm | 气动 | ConFlat（CF） | 69.85 mm | FKM橡胶密封 |
| 311074 | HV | 38.10 mm | 气动 | ISO | NW40 | FKM橡胶密封 |
| 311032 | HV | 38.10 mm | 气动 | 管焊（Tube Weld） | 38.10 mm | FKM橡胶密封 |
特性
主要特点
- 适用于高真空与超高真空应用
- 端口配置包括：
- Conflat® 2-3/4 英寸（69.85 mm）金属密封法兰
- ISO NW40 Kwik-Flange™ KF（40 mm）
- 1-1/2 英寸管焊连接（38.1 mm）
- 可选手动或电气气动执行器
- 集成120VAC气动控制电磁阀
- 阀盖密封采用无氧铜金属密封或FKM弹性体密封
- 执行器采用焊接波纹管密封结构
- 阀体内部采用TIG焊接工艺
- 内外表面经过电解抛光处理
可选功能
- 电机械式位置指示器
- 磁簧开关位置反馈
- 气动控制电磁阀支持240VAC与24VDC
- 高温Kalrez®弹性体阀芯密封，最高耐温250°C
技术规格
材料
- 法兰：304不锈钢
- 阀体：304不锈钢
- 气缸：特氟龙涂层铝合金
- 执行器密封：AM-350焊接波纹管
- 阀盖密封：无氧铜或FKM弹性体
- 阀芯密封：FKM或Kalrez® 4079弹性体
- 气动执行器密封：FKM弹性体
- 紧固件：300系列不锈钢
电气气动执行器
- 气源压力：70–100 psig
- 气动控制电磁阀：
- 1/4″–1-1/2″采用310系列
- 2″–10″采用410系列
- 电磁阀功率：120VAC，50/60Hz，4W
- 断电状态：阀门关闭
位置指示器
- 磁性：0.5A，120VAC，最大10W
- 机械式：5A，120/240VAC微动开关
端口紧固
- 螺栓类型：镀银12点螺栓及内六角螺栓
- 螺母类型：六角螺母
法兰紧固扭矩
- 8-32 UNC：7 lb-ft
- 1/4-28 UNF：12 lb-ft
- 5/16-24 UNF：15 lb-ft
- 3/8-24 UNF：26 lb-ft
真空性能
- 真空范围：可达1×10⁻¹¹ Torr
- 氦检漏率：2×10⁻¹⁰ cc/sec
温度范围
- UHV系列（铜 / FKM）：开状态200°C / 关状态150°C
- UHV系列（铜 / Kalrez）：开状态250°C / 关状态200°C
- HV系列（FKM / FKM）：开状态150°C / 关状态150°C
