Idonus HF气相蚀刻机静电卡盘

Idonus HF气相蚀刻机静电卡盘

静电卡盘能够通过静电力将多个芯片以及晶片的一部分夹紧到晶片保持器上。
该设备对于研发机构来说非常有用，因为研发机构并不总是能够处理完整的晶圆。芯片的静电夹紧允许在HF蒸汽释放之前对MEMS晶片进行苛刻的切割过程。通过修改经典的制造顺序，可以生产出具有极软悬浮液的MEMS器件。
静电吸盘的使用非常简单。芯片被放置在晶片架上，电力由控制器箱上的开关打开。静电力可以调节。