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idonus MAS+DIM 掩膜对准系统 掩膜与基板精准对准 · 真空夹持 · 双图像显微镜实时监控,对准精度达 ±5μm
瑞士idonus sàrl UV-LED 曝光系统 高功率 UV-LED + 全远心光学系统,覆盖最大 600×600mm 曝光面积,不均匀度低至 3%
代理瑞士Idonus HF Vapor Phase EtcherHF 气相刻蚀机
代理Idonus SMA 用于荫罩或其他基板对准的模块化对准系统
代理Idonus MAS + DIM 掩膜对准系统,带双图像显微镜
Idonus SMA掩膜对准器,用于准确对准掩膜与基板
瑞士idonus UV-EXP150S-SYS紫外光刻曝光机
代理idonus 紫外LED曝光系统UV-EXP150R,UV-LAB100R
代理瑞士idonus UV-EXP150R-SYS UV-EXP系列光刻曝光系统
瑞士idonus 氢氟酸气相刻蚀机,UV-LED曝光系统
瑞士idonus UV-LED曝光系统UV-EXP系列
Idonus湿法晶片卡盘WPWC、Idonus均匀电沉积晶片卡盘WEDC
Idonus芯片键合机CCB
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Idonus HF气相蚀刻机VPE系列Idonus VPE100蚀刻机、Idonus VPE150蚀刻机、Idonus VPE200蚀刻机
双影像显微镜 单影像显微镜 阴影掩模对准仪 科勒照明 红外显微镜 DIM数字显微镜 SIM
电镀用晶圆夹具(WEDC)确保电镀金属的均匀性
多芯片真空夹持台 适用于各种湿法刻蚀和芯片清洗工艺
Idonus芯片键合机CCB
Idonus晶圆键合检测设备WBI红外光晶片键合检测设备
Idonus湿法晶片卡盘WPWC、均匀电沉积晶片卡盘WEDC
Idonus HF气相蚀刻机静电卡盘
Idonus HF气相蚀刻机VPE系列VPE100、VPE150、VPE200
瑞士idonus红外晶片检测显微镜IR-M
瑞士idonus掩模对准系统-具有双图像显微镜MAS+DIM
瑞士idonus UV-LED曝光系统UV-EXP系列
Idonus Water-cooled rotary union designed for high vacuum 产品介绍视频
Idonus shadow mark aligner 产品介绍视频
瑞士Idonus红外显微镜
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瑞士Idonus氢氟酸气相刻蚀机
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瑞士Idonus公司MEMS设备
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