Infrared Microscope (IR-M )
红外显微镜
硅片是集成电路（IC）和微电子机械系统（MEMS）制造中必不可少的组成部分。在红外（IR）范围内能够透视这种半导体材料对于制造过程的质量控制非常有利。
idonus红外硅片检测显微镜（IR-M）配备了长工作距离物镜。3级变焦允许用户选择合适的视场和放大倍率。红外敏感摄像头通过USB 3.0通信将检测样品的图像显示在计算机上。分辨率优于3 μm，并配备5×物镜。
此外，还提供顶部照明功能。这使显微镜可以在传统模式下使用，并检查硅片的顶部表面。红外显微镜配备了XY台，可容纳直径200毫米（8英寸）或更小的硅片。可选地，XY台可以由电机驱动，通过图形用户界面（GUI）和/或操纵杆方便地控制。
应用领域
idonus IR-M 在半导体和MEMS设备检测等方面有着多种应用：
-通过透射成像观察硅片（例如微结构硅片）
-检查太阳能电池的功率效率
以下图片是通过IR-M成像显微镜拍摄的。它们展示了一个微结构的绝缘层硅（SOI）硅片。第一张图片显示了经典显微镜图像，使用了顶部照明（可见光谱）。第二张图片是使用红外照明（IR透射模式）拍摄的，展示了基层和器件层之间埋藏的氧化硅（SiO2）。
idonus红外硅片检查显微镜（IR-M）- 所示版本包括电动XY平台。
DIM Double Image Microscope (DIM ) idonus idonus sàrl Infrared Microscope IR-M MAS MAS + DIM Mask Aligner Mask Alignment System (MAS ) MEMS MEMS器件 MEMS造设备 Mercury-vapor lamp Shadow Mask Aligner UV-EXP系列 UV-LED UV-LED exposure系统 具有双图像显微镜的掩模对准系统 掩模对准器 掩模对准系统 汞气灯 瑞士IDONUS 瑞士idonus sàrl 紫外-LED曝光系统 紫外LED光刻曝光系统 紫外照明系统 红外显微镜 红外硅片检测显微镜 荫罩对准器 荫罩掩膜对准器
