Idonus Water-cooled rotary union designed for high vacuum 产品介绍视频

瑞士idonus公司成立于2004，专业从事微电子机械制造设备（MEMS）的开发和制造，是一家世界领先的微米纳米技术及设备方案供应商。

主要产品：

MEMS制造设备

光伏制造设备

光学与机器视觉

离子注入表面处理

氢氟酸气相蚀刻机

红外显微镜

湿法工艺晶片卡盘

静电卡盘

掩模对准

多片式真空吸盘

晶圆键合检查装置

芯片键合机

紫外线LED曝光系统