瑞士idonus UV-EXP150S-SYS紫外光刻曝光机
idonus已经推出了一系列完整的UV-LED曝光产品。 idonus的系统将市场上最有效的UV-LED与高品质微透镜阵列相结合。 它们完全在内部组装和控制。idonus的设计具有全望远镜光学系统，提供 在整个曝光区域上可重复且均匀的照明条件 – 即，高度均匀和稳定 的强度，具有非常小的发散角。这种先进的光学系统确保整个 基底的完美均匀曝光，生产具有直边壁的固化光刻胶，并能够对具有微米关键尺寸的图案进行精确的微结构化.
光引擎：
idonus (UV-EXP-LE) UV-EXP 内部嵌入了idonus的高性能 UVLED 光引擎 (UV-EXP-LE)。通常，单个 LED 会产生 365 nm、385 nm、395 nm、405 nm、435 nm 或这些波长的组合（idonus的标准产品中为 365/405/435）的光。 UV-EXP-LE 由电子设备精确控制，并通过空气或水冷却。安装在 UV-EXP 背面的电源模块提供所需的工作电流。 LED 产生的原始光经过一组优质均化器光学器件均匀化，然后释放到曝光源外壳中进行进一步处理。
机械底座 (UV-MB) 和紫外线防护罩 (UV-SHIELD) 机械底座：
(UV-MB) 支持 UV-EXP 系统，紫外线防护罩包围工作空间。它旨在为您的基材和对准工具提供充足的工作空间。周围的紫外线防护罩可过滤掉强烈的紫外线，保护您的眼睛和附近的任何材料，同时始终允许视觉控制。
曝光源 (UV-EXP)：
光源采用非反射外壳，封装了光引擎并支持远心光学系统。准直光学器件将发散（但已均匀化）的紫外线光线垂直于基材对齐。光源是为特定的曝光区域而构建的。根据您的基材尺寸，您可能需要在我们的标准尺寸（Ø150、□150、Ø200、□200 和 □300 毫米）之间进行选择。还可提供定制尺寸。
控制单元 (UV-EXP-CU) 和反馈传感器 (UV-SENS-GaP)：
曝光系统的操作由 UV-EXP-CU 控制单元控制。 UV-EXP-CU 使用紫外线和温度传感器反馈回路来控制功率、曝光时间、辐照度或剂量。为了您的安全，提供了联锁装置。远程控制单元 UV-EXP-RCU 还可与您现有的设备协议集成。
