瑞士idonus sàrl-芯片键合机 Chip-to-chip bonder (CCB )

Electrostatic chuck

Chip-to-chip bonder (CCB )

芯片键合机

idonus CCB是一种多功能工具,通过阳极键合和多种粘接过程实现芯片对芯片的对准和键合。

为了在MEMS制造中构建三维结构或封装时,经常需要精确对准和粘接两个单片。通过片对片键合机(CCB),可以手动对准两个芯片。然后可以使芯片接触,以进行阳极键合或各种粘接过程。单片对准阶段包括三个线性轴和三个旋转轴,提供了足够的自由度来满足大多数对准应用的需求。下部芯片夹在基板上,上部芯片由针夹持。两个真空夹具可以单独调节和切换。为了执行阳极键合过程,提供了加热板和高压源。键合电压在控制单元上调节,该单元监控电压和键合电流。加热板的温度也在控制单元上调节。

精确对准和键合两个单片在MEMS制造中建造三维结构或包装中经常是必须的。使用片对片键合机,可以手动对准两个芯片。然后,这些芯片可以接触,以进行阳极键合或各种粘接过程。单片对准阶段包括三个线性轴和三个旋转轴,这提供了足够的自由度来满足大多数对准应用的需求。

较低的芯片夹在基板上,而较高的芯片则由针夹持。两个真空夹具可以单独调整和切换。

为了执行阳极键合过程,设备配备了加热板和高压源。键合电压通过控制单元进行调节,该单元监控电压和键合电流。加热板的温度也可以在控制单元上进行调节。

该设备专为研究机构设计,并可根据您的特殊应用进行调整。

特征:

• 3个线性轴
• 3个旋转轴
• 最高可达500°C的加热板
• 用于阳极键合的高压源
• 显微镜下的芯片对准功能
• 安全操作

应用:

• 芯片对准
• 阳极键合
• 封装
• 各种粘接过程(紫外光胶、环氧胶、热胶等)

优势:

• 快速对准芯片
• 安全操作
• 可定制以适应各种工艺
• 占地面积小
• 易于使用


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