应用
Idonus 提供一系列模块化数字显微镜，适用于微机械零件和微米级特征的观察。基本系统是单影像显微镜（SIM），采用反射光照明。当成对使用并安装在可调支架上时，它提供了双影像显微镜（DIM），用于平面对准操作期间的屏幕可视化（例如，与我们的阴影掩模对准仪（SMA）结合使用时）。
我们性价比高的数字显微镜的主要用途是用于洁净室中的紫外光光刻。在紫外曝光之前，需要将基板与掩模精确对准，这一过程可以使用我们的数字显微镜完成。因此，我们的产品设计允许将大型辅助设备放置在显微镜下方。例如，许多客户将双影像显微镜（DIM）作为实验室设备，用于精细平面对准操作时的屏幕可视化。典型应用如图1所示，其中DIM与我们的阴影掩模对准仪（SMA）结合使用。
工作原理
我们的数字显微镜系列集成了反射光学系统，也称为顶光照明（或 epi-illumination）。这种照明方式适用于观察各种材料，并能满足微系统检查的大多数需求。
科勒照明 – 照明质量是光学显微镜中的一个重要标准，尤其对于定量数字成像而言至关重要。我们集成了一个 LED 照明系统，利用科勒照明技术提供均匀的照明。通过这种光学照明，光源被完全去焦，且在最终图像中不可见（参见图2）。这确保了高质量的成像，并且所记录的图像可以用于后期处理（例如机器视觉）。
绿光LED – 绿光照明作为标准配置，因为其波长（约550 nm）适用于紫外光应用。当然，其他波长也是可能的，特别是红外照明和红外敏感相机可根据要求提供。需要注意的是，Idonus 还提供一款专用于硅基晶圆中掩埋硅氧化物（SiO2）检查的红外显微镜。
产品范围
我们的单影像显微镜（SIM）和双影像显微镜（DIM）都由一个管状光学模块组成，其原理如图1所示。我们的SIM系列数字显微镜的组成部分包括：
- SIM光学组件
- ×1 带集成均匀绿光LED照明的管状光学系统
- ×1 固定放大倍率的物镜（对于“无限修正”版本，聚焦由旋钮调节/对于共轴光学不需要聚焦）
- ×1 USB连接的数字相机
- LED光源的电源和控制单元
- 带平面安装底座的主机
- 精细螺丝调节高度（Z方向）
- 精细螺丝调节X和Y位置
- 用于数字图像实时屏幕可视化的软件
在我们的DIM系列中也有相同的组成部分，但在这种情况下，使用两个管状显微镜而非一个。在DIM显微镜中，两个相机连接到计算机，并提供两个不同区域的图像，以便对基板进行检查。
图3展示了几种可能的配置。为了满足客户的需求，我们的模块化系统还可以提供许多其他配置。例如，作为DIM系统的替代方案，用户可以选择将SIM显微镜安装在带有止动器的滑轨上。
