代理Idonus SMA 用于荫罩或其他基板对准的模块化对准系统
Idonus是一家瑞士微技术公司，专注于MEMS微制造、光刻曝光系统及工程服务。其核心产品包括UV-LED光刻设备、掩膜对准器和定制化解决方案，适用于半导体、光伏、微流控等领域。
核心业务
- MEMS设备：提供洁净室设备，涵盖掩膜对准（MAS/DIM）和光刻曝光（UV-EXP）系统，支持300毫米晶圆加工。
- 光刻曝光系统：基于高功率UV-LED和均质光学，适用于光刻胶曝光及固化，可定制单波长或多波长配置。
- 工程服务：包括原型制作、小批量生产及设备改装（如掩膜对准器改造）。
技术特点
- 光学设计：采用全远心光学元件，确保曝光均匀性（不均匀度±3%以内），支持微米级临界尺寸加工。
- 应用领域：覆盖半导体、光伏、光子学及微流控等行业的基板加工。
其他产品
