Thermo electric晶圆电阻,RTD晶圆电阻式温度检测器,电阻式温度检测器,RTDs传感器
RTD-低温/高精度-最高温度240°C
仪器化的晶圆电阻式温度检测器的工作原理是，在一定的温度范围内，某些金属的电阻以可重复和可预测的方式增加或减少。
与热电偶晶片相比，RTD的仪表晶片具有更高的精度和更高的稳定性，为监控半导体制造设备提供了额外的选择。
RTDs传感器在较长时间内保持初始精度的能力提供了温度测量的可重复性。
晶圆数据采集解决方案-TEDAQ
Thermo electric的数据采集（TEDAQ）和温度映射软件工具允许精确捕捉和分析任何类型的仪表化晶圆的温度数据。
Thermo electric TEDAQ在仪器化晶圆组件上提供完全集成的多点温度测量。
我们的TEDAQ提供了一个硬件和软件嵌入式解决方案，可轻松应用于任何尺寸的晶圆和多达64个热电偶输入。
TEDAQ软件与最新的Windows操作系统兼容。
