Thermionics ERH Series Sample Heating ERH 系列真空样品加热台

Thermionics ERH Series Sample Heating ERH 系列真空样品加热台

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样品加热系统

Thermionics 公司提供多种加热方案,适配各类应用场景。多款超高真空(UHV)型、氧气环境型或化学气相环境型加热器均可适配 SMR 样品基座。

电子束增强电阻式加热器 ——ERH 系列

  • 超高真空环境下加热温度可达 1400 摄氏度以上
  • 1200 摄氏度工况下,温度稳定性小于 1 摄氏度
  • 样品外径 0.6 英寸
  • 样品升、降温速度极快
  • 插拔式加热器设计,便于拆卸与更换
  • 可适配多种样式的样品载台
  • 支持定制化选型
  • 可选氧气适配款,可在氧富集环境(压强最高 1×10⁻⁵托)下使用
  • 低功率灯丝(约 40 瓦)
  • 适配 500 伏直流偏压工况
  • 配备全部所需的气氛侧连接器、内部布线、测温热电偶及备用灯丝
  • 需搭配 EPS‑500 型电源使用

可选配件

气体喷淋环选件
  • 适用于化学气相(CV)相关应用
  • 将隔热屏蔽延伸至样品平面上方
  • 单气体喷淋环,采用不锈钢材质
  • 气体环卡接固定于隔热屏蔽上
遮光板组件选件
  • 适用于蒸发或溅射相关应用

加热与冷却配件

ACS‑CR 铜索
  • 外径约 1/8 英寸
  • 无氧电子级铜材质
  • 适用于超高真空散热传导
  • 可提供定制长度规格
ACS‑TS 钽螺丝
  • 钽材质制造
  • 0‑80 规格螺丝
  • 螺尖至螺头基座长度 3/16 英寸
  • 圆柱头设计
SMRHR‑HS 加热器备用套件
  • 两根备用钨灯丝
  • 备用陶瓷绝缘件


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